一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2-Ti复合涂层的装置和方法

    公开(公告)号:CN115287612B

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202210706659.3

    申请日:2022-06-21

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/06 C23C14/54

    摘要: 本发明公开了一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2‑Ti复合涂层的装置和方法,该装置包括真空腔体、样品转架、主脉冲电源、从脉冲电源、WS2靶材、Ti靶材和时序控制器,样品转架设置于真空腔体内,WS2靶材和Ti靶材分别固定于真空腔体,WS2靶材和Ti靶材呈八字分布,WS2靶材和Ti靶材分别正对样品转架;主脉冲电源与Ti靶材电连接,从脉冲电源与WS2靶材电连接,时序控制器分别与主脉冲电源和从脉冲电源电连接,时序控制器控制主脉冲电源和从脉冲电源的脉冲时序。该装置可控制两套HiPIMS脉冲电源的脉冲时序,可以有效避免脉冲放电重叠,实现双靶稳定工作,利用该装置制备WS2‑Ti复合涂层,可以改善其耐摩擦磨损性能。

    一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2-Ti复合涂层的装置和方法

    公开(公告)号:CN115287612A

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202210706659.3

    申请日:2022-06-21

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/06 C23C14/54

    摘要: 本发明公开了一种HiPIMS双靶共溅射制备WS2‑Ti复合涂层的装置和方法,该装置包括真空腔体、样品转架、主脉冲电源、从脉冲电源、WS2靶材、Ti靶材和时序控制器,样品转架设置于真空腔体内,WS2靶材和Ti靶材分别固定于真空腔体,WS2靶材和Ti靶材呈八字分布,WS2靶材和Ti靶材分别正对样品转架;主脉冲电源与Ti靶材电连接,从脉冲电源与WS2靶材电连接,时序控制器分别与主脉冲电源和从脉冲电源电连接,时序控制器控制主脉冲电源和从脉冲电源的脉冲时序。该装置可控制两套HiPIMS脉冲电源的脉冲时序,可以有效避免脉冲放电重叠,实现双靶稳定工作,利用该装置制备WS2‑Ti复合涂层,可以改善其耐摩擦磨损性能。

    一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置

    公开(公告)号:CN203999800U

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201420403821.5

    申请日:2014-07-22

    申请人: 张平 台州学院

    发明人: 林岚 邹慧慧 张平

    IPC分类号: C23C14/52

    摘要: 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,具体涉及一种用于保护真空镀膜设备观察窗的装置,包括由不锈钢薄板卷成的圆筒、固定挡片以及保护玻璃。本实用新型可以将保护玻璃卡持在观察窗座内腔中,并与观察玻璃贴合,达到最佳观察效果。保护玻璃在观察玻璃与真空腔室形成间隔,可以阻挡污染物,有效地阻止其沉积在观察玻璃上,减少观察玻璃的拆卸次数,保护观察玻璃不被污染,达到保护观察窗的目的。本实用新型由一张带有固定挡片的不锈钢薄板制成,不需要复杂的加工,制作简单。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后,只要将圆筒从观察窗座内腔内取出,然后展开便可将保护玻璃取下进行清洗,方便简单。

    一种真空镀膜设备观察窗的保护装置

    公开(公告)号:CN205024321U

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201520229565.7

    申请日:2015-04-16

    申请人: 张平 台州学院

    IPC分类号: C23C14/52

    摘要: 本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域,具体涉及一种真空镀膜设备观察窗的保护装置,包括带有固定挡片、内卡圈、外卡圈等结构的不锈钢筒体及保护玻璃。本实用新型在观察窗现有保护措施的基础上,采用一种简单的装置,将保护玻璃置于观察窗座内腔中,使得观察玻璃与真空腔室之间形成间隔,从而有效地阻止污染物沉积在观察玻璃上,大大减少观察玻璃拆卸的次数,达到保护观察窗的目的。当保护玻璃经过长期使用变得模糊后,只要将本实用新型从观察窗座内腔中取出,然后将保护玻璃从不锈钢筒体的一端取出便可进行清理。无需拆卸观察窗,操作方便简单,不影响真空室密封性能,保护玻璃清理干净后可以重新使用。

    一种添加纳米粒子的含铜强化钢及制备方法

    公开(公告)号:CN103924156A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201410187439.X

    申请日:2014-05-05

    IPC分类号: C22C38/16 C22C33/06

    摘要: 一种添加纳米粒子的含铜强化钢及制备方法,该含铜强化钢包括纳米氧化铝、铜、硅、碳、锰、铝、镍、磷、氧、氮和硫,余量为铁。在真空熔炼炉内精炼无氧铜和纳米氧化铝粒子的混合物,在5.0x10-3Pa和施加电磁搅拌条件下,熔炼成中间合金;按权利要求1所述的成分比例配制合金,把中间合金加入配制好的合金中,在真空熔炼炉内精炼得到铸坯;经过变形和回火处理,获得强化相铜均匀分布的强化钢。该含铜强化钢具有优异的强度、韧性、热成型性和机械性能。