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实用新型
CN204807213U 检验用干涉测量准直系统 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 检验用干涉测量准直系统
  • 专利标题（英）： Interferometry collimating system is used in inspection
  • 申请号： CN201520388358.6
    申请日： 2015-06-03
  • 公开(公告)号： CN204807213U
    公开(公告)日： 2015-11-25
  • 发明人: 陈小梅
  • 申请人： 陈小梅
  • 申请人地址： 福建省长乐市江田镇友爱村西坪下40号
  • 专利权人： 陈小梅
  • 当前专利权人： 陈小梅
  • 当前专利权人地址： 福建省长乐市江田镇友爱村西坪下40号
  • 主分类号： G01J9/02
  • IPC分类号： G01J9/02
检验用干涉测量准直系统
摘要：
本实用新型涉及一种检验用干涉测量准直系统，由激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、干涉腔(4)、准直镜(5)、成像透镜(6)、CCD(7)、计算机(8)和滤光器(9)构成，按照光路方向依次设置激光光源(1)、分光棱镜(2)、耦合系统(3)、滤光器(9)和干涉腔(4)，在分光棱镜(2)与激光光源(1)发射激光方向垂直的方向设置有准直镜(5)和CCD(7)，所述计算机(8)分别与CCD(7)和滤光器(9)连接。本实用新型提供的检验用干涉测量准直系统为了满足干涉测量仪的需求，可以分析验证光学系统波像差对干涉条纹的影响，通过仿真可以用于检验边缘视场的像差对干涉图的失真和畸变影响。
摘要（英）：

The utility model relates to an interferometry collimating system is used in inspection, by laser lamp -house (1), beam splitting Prism (2), coupled system (3), interfere chamber (4), collimating mirror (5), imaging lens (6), CCD (7), computer (8) and filter (9) constitute, set gradually laser lamp -house (1) according to the light path direction, beam splitting Prism (2), coupled system (3), filter (9) and interference chamber (4), be provided with collimating mirror (5) and CCD (7) at beam splitting Prism (2) with laser lamp -house (1) lasing direction vertically direction, computer (8) are connected with CCD (7) and filter (9) respectively. The utility model provides a demand of interferometry collimating system is used in inspection in order to satisfy interference measuring apparatus can the analysis verifies that optical system wavefront aberration to interference fringe's influence, can be used for the matched edge along the distortion and distortion influence to the interference pattern of the aberration of visual field through emulation.

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