一种硅片清洗插片辅助板
摘要:
本实用新型公布了一种硅片清洗插片辅助板,其特征在于:其包括分别设置在硅片清洗花篮两侧的两块导向板和设置在硅片清洗花篮底部的缓冲垫;所述导向板内壁设置有与硅片清洗花篮定位销柱齿宽相适应的导向槽;所述缓冲垫表面具有软质缓冲层。本实用新型通过导向板的进行导向和缓冲垫的进行缓冲,制造成本低。同时有效杜绝了错槽问题,且效率提升2倍以上;4人插片改善后2人插片即可满足清洗机产能需求;硅片的品质也得到了改善,崩边率降低4%。
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