Utility Model
- Patent Title: 氮化硅腔用一体式特气管路
- Patent Title (English): A serial communication port,
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Application No.: CN201720559656.6Application Date: 2017-05-18
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Publication No.: CN206706204UPublication Date: 2017-12-05
- Inventor: 邹海军 , 张凯胜 , 姚伟忠
- Applicant: 常州亿晶光电科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号
- Assignee: 常州亿晶光电科技有限公司
- Current Assignee: 常州亿晶光电科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省常州市金坛区尧塘镇金武路18号
- Agency: 常州市英诺创信专利代理事务所
- Agent 王美华
- Main IPC: C23C16/455
- IPC: C23C16/455 ; C23C16/34

Abstract:
本实用新型提供了一种氮化硅腔用一体式特气管路,包括防尘罩,所述防尘罩为U型槽,U型槽端部两侧分别向外具有外延板,所述外延板下表面固定有特气管道,所述特气管道与外部供气管路连通。本实用新型在外延板和U型槽底部固定有特气管道,供气管路内的特殊气体可直接通过特气管道传送供气,防尘罩与特气管道成一体结构,固定稳定不易发生偏移或变形,可有效延长特气管路的使用寿命,减少维护,保持镀膜工艺的长期稳定。
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IPC分类: