氮化硅腔用一体式特气管路
Abstract:
本实用新型提供了一种氮化硅腔用一体式特气管路,包括防尘罩,所述防尘罩为U型槽,U型槽端部两侧分别向外具有外延板,所述外延板下表面固定有特气管道,所述特气管道与外部供气管路连通。本实用新型在外延板和U型槽底部固定有特气管道,供气管路内的特殊气体可直接通过特气管道传送供气,防尘罩与特气管道成一体结构,固定稳定不易发生偏移或变形,可有效延长特气管路的使用寿命,减少维护,保持镀膜工艺的长期稳定。
Patent Agency Ranking
0/0