本实用新型涉及一种基于硅薄膜的高灵敏压力传感器。所述压力传感器包括硅管、硼硅玻璃套管、单模光纤，其中：所述硅管用于作为FP腔体，其一端经过一段二氧化硅薄膜与硅薄膜固连，另一端与所述硼硅玻璃套管固连；所述硼硅玻璃套管连接所述硅管，用于插接所述单模光纤；所述单模光纤通过所述硼硅玻璃套管插入所述硅管之中，并且所述单模光纤的中心、所述硅薄膜的中心均在所述硅管的中心轴线上；所述单模光纤的端面和所述硅薄膜作为FP腔的两个腔镜，与所述硅管的轴向成90°，形成FP干涉结构。本实用新型基于SOI制备，可满足不同灵敏度要求，探头微型化；不易受温度、湿度变化影响；探头的传感特性一致性好，易实现大规模生产，成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利