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公开(公告)号：CN108731840A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810499705.0
申请日：2018-05-23
Applicant: 北京东方锐择科技有限公司
Abstract: 本发明提供双腔结构的光纤温度与压力传感器及其制备方法。所述传感器包括：入射组件，包括入射光纤，用于引导相干光束的入射；反射组件，包括反射光纤，用于与入射组件保持合理距离，形成本征型F-P腔和非本征型F-P腔；本征型F-P腔，由第二毛细管与一段光纤熔接而成；非本征型F-P腔，由本征型F-P腔与入射组件或反射组件的端面保持合理距离形成；第一毛细管，固定连接所述各组件；根据非本征型F-P腔的腔长对相干光束的反射获得测量温度和压力；根据本征型F-P腔的腔长对相干光束的反射获得测量温度；温度补偿后得到精确的测量压力。本发明通过本征腔对非本征腔进行温度补偿，得到精确的压力值；结构简单易制作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108444623A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810379032.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 北京东方锐择科技有限公司
IPC: G01L1/24
Abstract: 本发明涉及基于硅薄膜的高灵敏压力传感器及其制备方法。所述压力传感器包括硅管、硼硅玻璃套管、单模光纤，其中：所述硅管用于作为FP腔体，其一端经过一段二氧化硅薄膜与硅薄膜固连，另一端与所述硼硅玻璃套管固连；所述硼硅玻璃套管连接所述硅管，用于插接所述单膜光纤；所述单模光纤通过所述硼硅玻璃套管插入所述硅管之中，并且所述单模光纤的中心、所述硅薄膜的中心均在所述硅管的中心轴线上；所述单模光纤的端面和所述硅薄膜作为FP腔的两个腔镜，与所述硅管的轴向成90°，形成FP干涉结构。本发明基于SOI制备，可满足不同灵敏度要求，探头微型化；不易受温度、湿度变化影响；探头的传感特性一致性好，易实现大规模生产，成本低。
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公开(公告)号：CN108444624A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810499943.1
申请日：2018-05-23
Applicant: 北京东方锐择科技有限公司
IPC: G01L1/24
Abstract: 本发明提供全焊接的光纤压力传感器及其制备方法。所述全焊接的光纤压力传感器包括入射光纤、毛细玻璃管、毛细石英管、反射组件；其中：所述入射光纤焊接于所述毛细玻璃管，所述毛细玻璃管焊接于所述毛细石英管的一端；所述反射组件焊接于所述毛细石英管的另一端；所述入射光纤的端面和所述反射组件的端面形成F-P腔，用于测量外界参量的变化。本发明选择玻璃进行焊接，加工温度低，易实现，在不损伤光纤和毛细石英管的前提下很容易将光纤和毛细石英管焊接在一起；采用纯焊接工艺，传感器稳定性好，可承受很高压力；通过毛细石英管与光纤组成F-P腔，降低了温度敏感性，解决了压力与温度交叉敏感的问题。
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公开(公告)号：CN208206357U
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201820771393.X
申请日：2018-05-23
Applicant: 北京东方锐择科技有限公司
IPC: G01L1/24
Abstract: 本实用新型提供一种全焊接的光纤压力传感器。所述全焊接的光纤压力传感器包括入射光纤、毛细玻璃管、毛细石英管、反射组件，其中：入射光纤，焊接于毛细玻璃管；所述毛细玻璃管，焊接于毛细石英管的一端；反射组件，焊接于所述毛细石英管的另一端；所述反射组件的端面和所述入射光纤的端面保持合适距离，形成F-P腔，用于测量外界参量的变化。本实用新型选择玻璃进行焊接，加工温度低，易实现，在不损伤光纤和毛细石英管的前提下很容易将光纤和毛细石英管焊接在一起；采用纯焊接工艺，传感器稳定性好，可承受很高压力；通过毛细石英管与光纤组成F-P腔，降低了温度敏感性，解决了压力与温度交叉敏感的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208155479U
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201820771118.8
申请日：2018-05-23
Applicant: 北京东方锐择科技有限公司
Abstract: 本实用新型提供双腔结构的光纤温度与压力传感器。所述传感器包括：入射组件，包括入射光纤，用于引导相干光束的入射；反射组件，包括反射光纤，用于与入射组件保持合理距离，形成本征型F-P腔和非本征型F-P腔；本征型F-P腔，由第二毛细管与一段光纤熔接而成；非本征型F-P腔，由本征型F-P腔与入射组件或反射组件的端面保持合理距离形成；第一毛细管，固定连接所述各组件；根据非本征型F-P腔的腔长对相干光束的反射获得测量温度和压力；根据本征型F-P腔的腔长对相干光束的反射获得测量温度；温度补偿后得到精确的测量压力。本实用新型通过本征腔对非本征腔进行温度补偿，得到精确的压力值；结构简单易制作。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN208091607U
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201820598754.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 北京东方锐择科技有限公司
IPC: G01L1/24
Abstract: 本实用新型涉及一种基于硅薄膜的高灵敏压力传感器。所述压力传感器包括硅管、硼硅玻璃套管、单模光纤，其中：所述硅管用于作为FP腔体，其一端经过一段二氧化硅薄膜与硅薄膜固连，另一端与所述硼硅玻璃套管固连；所述硼硅玻璃套管连接所述硅管，用于插接所述单模光纤；所述单模光纤通过所述硼硅玻璃套管插入所述硅管之中，并且所述单模光纤的中心、所述硅薄膜的中心均在所述硅管的中心轴线上；所述单模光纤的端面和所述硅薄膜作为FP腔的两个腔镜，与所述硅管的轴向成90°，形成FP干涉结构。本实用新型基于SOI制备，可满足不同灵敏度要求，探头微型化；不易受温度、湿度变化影响；探头的传感特性一致性好，易实现大规模生产，成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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