实用新型
- 专利标题: 一种电弧离子镀装置
- 专利标题(英): Arc ion plating device
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申请号: CN201821736280.2申请日: 2018-10-25
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公开(公告)号: CN209307475U公开(公告)日: 2019-08-27
- 发明人: 刘伟 , 马槽伟
- 申请人: 大连维钛克科技股份有限公司
- 申请人地址: 辽宁省大连市经济技术开发区铁山西路3-1号-A、B
- 专利权人: 大连维钛克科技股份有限公司
- 当前专利权人: 大连威钛克纳米科技有限公司
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市经济技术开发区铁山西路3-1号-A、B
- 主分类号: C23C14/32
- IPC分类号: C23C14/32 ; C23C14/48
摘要:
一种电弧离子镀装置,该装置由真空室、真空抽气系统、四组弧源和置于其前的转动挡板组成,其中,转动挡板包括清洗挡板及沉积栅网两种,悬挂于真空室上部的转动盘上,有效防止大颗粒污染涂层结构和降低性能,同时还能有效提高对基材加热、清洗和刻蚀以及离子注入效果,显著提高后续制备的硬质防护涂层与基材的结合力,可用于刀具、模具、机械零部件等表面制备硬质防护薄膜和涂层领域。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
IPC分类: