一种电弧离子镀装置
摘要:
一种电弧离子镀装置,该装置由真空室、真空抽气系统、四组弧源和置于其前的转动挡板组成,其中,转动挡板包括清洗挡板及沉积栅网两种,悬挂于真空室上部的转动盘上,有效防止大颗粒污染涂层结构和降低性能,同时还能有效提高对基材加热、清洗和刻蚀以及离子注入效果,显著提高后续制备的硬质防护涂层与基材的结合力,可用于刀具、模具、机械零部件等表面制备硬质防护薄膜和涂层领域。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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