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公开(公告)号：CN105441889A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510966434.1
申请日：2015-12-22
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
CPC分类号： C23C14/35 , H01J37/3405 , H01J37/3452
摘要： 本发明提供了一种离子源磁场分布结构，包括外磁钢、阳极、靶材、内磁钢、磁钢座、阴极和靶座构成，所述外磁钢及内磁钢安装于磁钢座内部，整体安装于靶座上，所述靶材安装于磁钢座上，由阴极充入冷却水冷却磁钢及靶材，同时通入负电压，由阳极通入正电压且与阴极绝缘，同时通入气体，阴极为纯铁或纯石墨。本发明气体由内外阴极间的狭缝通过时，迅速被聚在拱形磁场中间并被离化，通过这样的方式，实现离化率高的同时阴极极少溅射的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本较低的显著有益效果。
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公开(公告)号：CN106011855A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610562308.4
申请日：2016-07-18
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号： C23C28/04
CPC分类号： C23C28/042 , C23C28/046
摘要： 本发明公开了一种应用于滑动部件的碳基涂层，包括基体，所述基体顶部设有粘接层，所述粘接层顶部设有纯Ta‑C层，所述纯Ta‑C层顶部设有强韧DLC层，所述强韧DLC层顶部设有第三体磨合层。本发明提供一种应用于滑动部件的碳基涂层，尤其是应用于汽车发动机关键零部件基体上。该设计涂层具有优异的力学、摩擦学及耐腐蚀性能，降低摩擦磨损对能量的消耗，改善燃油经济性和减少CO2的排放，提高发动机的使用寿命和可靠性，因此具有实际应用价值。
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公开(公告)号：CN109136865A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811250036.X
申请日：2018-10-25
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/022 , C23C14/48
摘要： 一种电弧离子镀装置及沉积硬质涂层工艺，该装置由真空室、真空抽气系统、四组弧源和置于其前的转动挡板组成，其中，转动挡板包括清洗挡板及沉积栅网两种，悬挂于真空室上部的转动盘上，有效防止大颗粒污染涂层结构和降低性能，同时还能有效提高对基材加热、清洗和刻蚀以及离子注入效果，显著提高后续制备的硬质防护涂层与基材的结合力，可用于刀具、模具、机械零部件等表面制备硬质防护薄膜和涂层领域。
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公开(公告)号：CN109055901A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201811250029.X
申请日：2018-10-25
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
CPC分类号： C23C14/325 , C23C14/0021 , C23C14/021 , C23C14/028
摘要： 本发明的提高物理气相沉积硬质涂层与基材结合力的装置和工艺，在原有物理气相沉积装置基础上，该装置由嵌入真空室腔壁的柱状弧源或平面弧源和置于其前面距离、位置可调的挡板，以及相应的独立供电电源组成。通过调整弧源、挡板、悬挂基材转架及真空室壁之间的电位，实现对弧源发射的等离子体及其所离化工作气体离子的分离、运动的有效控制，实现电子轰击加热、气体离子或弧源金属离子刻蚀清洗及金属离子注入，之后接续硬质涂层的物理气相沉积，本装置及工艺能够使基材表面清洗更加彻底，调控基材表面粗糙度，活化基材表面，有效提高了刀具、模具、机械关键零部件和锁具等产品表面硬质防护涂层与基体的结合力。
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公开(公告)号：CN209307474U
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201821736279.X
申请日：2018-10-25
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
摘要： 本实用新型的提高物理气相沉积硬质涂层与基材结合力的装置，在原有物理气相沉积装置基础上，该装置由嵌入真空室腔壁的柱状弧源或平面弧源和置于其前面距离、位置可调的挡板，以及相应的独立供电电源组成。通过调整弧源、挡板、悬挂基材转架及真空室壁之间的电位，实现对弧源发射的等离子体及其所离化工作气体离子的分离、运动的有效控制，实现电子轰击加热、气体离子或弧源金属离子刻蚀清洗及金属离子注入，之后接续硬质涂层的物理气相沉积，本装置及工艺能够使基材表面清洗更加彻底，调控基材表面粗糙度，活化基材表面，有效提高了刀具、模具、机械关键零部件和锁具等产品表面硬质防护涂层与基体的结合力。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209307475U
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201821736280.2
申请日：2018-10-25
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
摘要： 一种电弧离子镀装置，该装置由真空室、真空抽气系统、四组弧源和置于其前的转动挡板组成，其中，转动挡板包括清洗挡板及沉积栅网两种，悬挂于真空室上部的转动盘上，有效防止大颗粒污染涂层结构和降低性能，同时还能有效提高对基材加热、清洗和刻蚀以及离子注入效果，显著提高后续制备的硬质防护涂层与基材的结合力，可用于刀具、模具、机械零部件等表面制备硬质防护薄膜和涂层领域。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN205047457U
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：CN201520710801.7
申请日：2015-09-15
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种真空烧结炉冷却风机，包括一号水嘴、O型圈、固定法兰、二号水嘴、轴密封座、磁流体密封组、防尘组装、电机轴、压紧螺母、角接触球轴承构成，所述一号水嘴对O型圈进行水冷，所述二号水嘴对磁流体密封组和角接触球轴承进行水冷，所述磁流体密封组具有良好的密封性能，同时在磁流体密封组的前面设置防尘组装，所述角接触球轴承设有两个且对向安装。本实用新型整体结构简单，外观简洁，通用性好，具有使用安全、便于维护、成本较低的显著效果，同时能够保证真空烧结工艺及性能质量的要求，使冷却风机运行平稳、可靠。
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公开(公告)号：CN205874542U
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201620751966.3
申请日：2016-07-18
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号： C23C28/04
摘要： 本实用新型公开了一种应用于滑动部件的碳基涂层，包括基体，所述基体顶部设有粘接层，所述粘接层顶部设有纯Ta-C层，所述纯Ta-C层顶部设有强韧DLC层，所述强韧DLC层顶部设有第三体磨合层。本实用新型提供一种应用于滑动部件的碳基涂层，尤其是应用于汽车发动机关键零部件基体上。该设计涂层具有优异的力学、摩擦学及耐腐蚀性能，降低摩擦磨损对能量的消耗，改善燃油经济性和减少CO2的排放，提高发动机的使用寿命和可靠性，因此具有实际应用价值。
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公开(公告)号：CN205590789U
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201521073448.2
申请日：2015-12-22
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种离子源磁场分布结构，包括外磁钢、阳极、靶材、内磁钢、磁钢座、阴极和靶座构成，所述外磁钢及内磁钢安装于磁钢座内部，整体安装于靶座上，所述靶材安装于磁钢座上，由阴极充入冷却水冷却磁钢及靶材，同时通入负电压，由阳极通入正电压且与阴极绝缘，同时通入气体，阴极为纯铁或纯石墨。本实用新型气体由内外阴极间的狭缝通过时，迅速被聚在拱形磁场中间并被离化，通过这样的方式，实现离化率高的同时阴极极少溅射的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本较低的显著有益效果。
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公开(公告)号：CN204939601U
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201520710802.1
申请日：2015-09-15
申请人： 大连维钛克科技股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本实用新型公开了一种真空镀膜设备电弧阴极翻转机构，包括接线柱，所述接线柱通过接线螺母固定在电弧阴极体上，所述电弧阴极体设置在密封压板上，所述密封压板的一端设有翻转板、紧定螺钉和轨道板，所述翻转板通过紧定螺钉固定在轨道板上，所述密封压板的另一端设有把手、弹簧压紧手柄、电弧阴极体固定板和O型密封圈，所述把手设置在密封压板上，所述弹簧压紧手柄设置在密封压板的最外端，所述电弧阴极体固定板的外边侧设有O型密封圈，所述翻转板上设有圆柱销和轴套，所述轴套设置在圆柱销的外表面，该真空镀膜设备电弧阴极翻转机构设计合理，体积小，且便于加工。
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