一种非球面面形摆臂式检测装置
摘要:
本实用新型公开了一种非球面面形摆臂式检测装置。现有摆臂式轮廓仪由于多自由度调整操作困难。本实用新型包括测量装置和双电容传感器测头;双电容传感器测头固定在加工平台的转动台面上;测量装置包括水平驱动机构、摆臂旋转平台、测量臂、测头竖直调整装置和测头模块;测量臂由转动摆臂和移动摆臂组成;测头竖直调整装置包括绕X轴调整装置和绕Y轴调整装置。本实用新型将测量装置和双电容传感器测头结合使用,在保证检测精度的同时,又降低了操作技术难度,提高了非球面接触式测头调整过程的效率,降低了非球面制造过程成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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