一种三维立体集成封装结构
摘要:
本实用新型公开一种三维立体集成封装结构,属于集成电路封装技术领域。所述三维立体集成封装结构包括基板和圆片,所述基板上形成有n层重布线,n≥1;所述n层重布线表面贴装有无源器件;所述圆片上电镀有不同高度的凸点,所述圆片通过凸点与所述基板焊接。通过晶圆上不同高度的凸点,解决了基体表面不在同一平面的三维立体封装难题,弥补了三维立体封装的局限性,增加了封装集成度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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