全集成硅显示器中的反向发光器件
摘要:
本实用新型公开了一种全集成硅显示器中的反向发光器件,它包括自下而上依次设置的硅衬底、发光结构、金属互联层、隔离层和金属反射层;所述发光结构嵌于硅衬底中,发光结构包括由外而内依次设置的n型阱、n+型有源区、p+型有源区、薄氧化层和多晶硅栅,n+型有源区与n型阱的内壁之间设置有场氧化层,场氧化层的外壁与硅衬底相连、内壁与n+型有源区相连。本实用新型采用了栅控二极管的结构,利用p+n结反偏引起的雪崩击穿机制进行电致发光,发光区域转移至多晶硅栅的四周,使得发光区域大大增加。本实用新型适用于全硅单片集成光电微显示器件技术领域。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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