实用新型
- 专利标题： 一种新型批处理清洗机
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申请号： CN201921419610.X申请日： 2019-08-28
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公开(公告)号： CN210349786U公开(公告)日： 2020-04-17
- 发明人: 李君 , 顾立勋 , 苏界
- 申请人： 长江存储科技有限责任公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 专利权人： 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人： 长江存储科技有限责任公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
- 代理机构： 北京派特恩知识产权代理有限公司
- 代理商 李洋; 张颖玲
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67
摘要：
本实用新型公开了一种批处理清洗机，包括制程槽，第一进酸管路和第二进酸管路，其特征在于，所述第一进酸管路和第二进酸管路平行地设置在所述制程槽的底部且分别与所述制程槽的底部平行，以使得进入所述制程槽的清洗液相向平行地流动。本实用新型的批处理清洗机通过从两侧供酸可以减少晶圆与晶圆之间的浓度梯度和温度梯度，能够增加制程槽内的清洗液的均匀性和稳定性，因此提高晶圆的良率。
IPC分类:
