本实用新型提供了一种显微镜用晶圆打点装置，属于晶圆检测技术领域，包括竖板、第一微调架、第二微调架、第三微调架，以及打点器；其中，竖板用于竖直固定在显微镜的侧壁上；第一微调架与竖板滑动连接，第一微调架沿水平方向滑动；第二微调架与第一微调架滑动连接，第二微调架沿水平方向滑动，且第二微调架的滑动方向与第一微调架的滑动方向垂直；第三微调架与第二微调架滑动连接，第三微调架沿竖直方向滑动；打点器与第三微调架转动连接，且转动轴向与第二微调架的滑动方向相同，打点器的工作端与显微镜的用于检测晶圆的光心位置对正。本实用新型提供的显微镜用晶圆打点装置对于晶圆上的不合格芯片打点标记方便，检测效率高。