本实用新型公开了一种适用于离心甩干的硅片装载装置，包括：篮筐、盖板、夹板和限位板；篮筐包括两个相对设置的固定板，固定板之间通过连接板连接，两个固定板上相对设置有固定槽；盖板设置在固定板的上方，盖板与固定板铰连接；夹板设置在盖板面向篮筐的一面，夹板内设置有凹槽，凹槽的位置与固定槽的位置相适配；限位板设置在篮筐的底部。通过上述方式，本实用新型能够能够有效避免硅片与篮筐之间摩擦而导致脱膜，能够避免硅片与清洗机机台内的定位柱接触碰撞而导致硅片碎片，减少硅片的损坏，有效保证硅片质量。