一种薄膜材料相变温度的测量装置
Abstract:
本实用新型实施例公开了一种薄膜材料相变温度的测量装置,包括:光学组件;真空腔,所述真空腔的顶部开设有入光孔,所述入光孔与所述光学组件的入射光线相对设置;高温炉,所述高温炉设置于所述真空腔内,所述高温炉的底部和侧向均安装有电阻加热片,所述电阻加热片通过导线与电源连接;样品室,所述样品室设置于所述高温炉内,所述样品室通过导热结构与所述电阻加热片导热连接,且样品放置于所述样品室内,热电偶内嵌于所述样品室中,并通过探头与所述样品相接触。其提高了薄膜材料相变温度的测量准确性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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