实用新型
- 专利标题： 一种外延膜生长设备
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申请号： CN202120684561.3申请日： 2021-04-02
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公开(公告)号： CN214279928U公开(公告)日： 2021-09-24
- 发明人: 王会会 , 林保璋 , 金補哲 , 田才忠
- 申请人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
- 申请人地址： 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
- 专利权人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
- 当前专利权人： 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
- 代理机构： 北京维正专利代理有限公司
- 代理商 倪鑫萍; 谢绪宁
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67 ; F16B35/00 ; F16B33/06
摘要：
本实用新型公开了一种外延膜生长设备及分离方法，在外延膜生长设备的金属夹环与金属基板之间，设置分离销装置，分离销包括至少两个带有螺丝的连接件，连接件贯穿金属夹环，连接件的顶端抵接在金属基板表面，利用分离销的反向力，分离金属夹环与石英件，在金属夹环与石英件分离后，移动金属夹环，实现金属夹环与石英件的安全分离，减少损坏石英件的几率。
IPC分类:
