Utility Model
- Patent Title: 一种抛光垫
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Application No.: CN202120177695.6Application Date: 2021-01-22
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Publication No.: CN214322989UPublication Date: 2021-10-01
- Inventor: 黄学良 , 蔡长益 , 罗乙杰 , 桂辉辉 , 刘敏 , 杨佳佳 , 邱瑞英 , 张季平
- Applicant: 湖北鼎汇微电子材料有限公司 , 湖北鼎龙控股股份有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号;
- Assignee: 湖北鼎汇微电子材料有限公司,湖北鼎龙控股股份有限公司
- Current Assignee: 湖北鼎汇微电子材料有限公司,长鑫存储技术有限公司湖北鼎龙控股股份有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市经济技术开发区东荆河路1号;
- Main IPC: B24B37/26
- IPC: B24B37/26

Abstract:
本实用新型公开一种抛光垫,包括抛光层,所述抛光层包括抛光表面和位于抛光表面上的抛光单元,所述抛光单元至少为一个,抛光单元组成抛光单元群,抛光单元群的一端形成接触表面,接触表面与被研磨材料直接接触,每个抛光单元在接触表面投影为平行四边形;多个抛光单元分别组成第一部分和第二部分,第一部分沿第一方向延伸并均匀间隔,第二部分沿与第一方向平行的方向延伸并均匀间隔;并且,抛光单元的接触表面的面上具有通道,且包括第一通道和第二通道;本实用新型抛光垫的结构与限定的抛光单元面积比,有效面积比、有效通道体积比以及有效通道的宽度比等参数相结合时,具有优异的综合性能。
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