• 专利标题: 一种用于铸锭单晶硅的籽晶坩埚结构
  • 申请号: CN202022755946.2
    申请日: 2020-11-25
  • 公开(公告)号: CN214327963U
    公开(公告)日: 2021-10-01
  • 发明人: 史珺
  • 申请人: 史珺
  • 申请人地址: 广东省深圳市罗湖区莲塘路350号鹏兴花园37栋204
  • 专利权人: 史珺
  • 当前专利权人: 史珺
  • 当前专利权人地址: 广东省深圳市罗湖区莲塘路350号鹏兴花园37栋204
  • 代理机构: 杭州伍博专利代理事务所
  • 代理商 熊小芬
  • 主分类号: C30B11/00
  • IPC分类号: C30B11/00 C30B11/14 C30B29/06
一种用于铸锭单晶硅的籽晶坩埚结构
摘要:
本实用新型公开了一种用于铸锭单晶硅的籽晶坩埚结构。它包括籽晶和坩埚,所述籽晶的横截面形状呈正方形,所述坩埚的横截面形状呈U型,所述坩埚的底部中央设有凹槽,所述凹槽的尺寸与籽晶的尺寸相一致,所述的籽晶置于凹槽内且与凹槽无缝接触。本实用新型的有益效果是:能够提高保证在用铸锭法进行单晶生长时,结合上述坩埚结构,不会产生多晶形核,从源头上消除了铸锭单晶的多晶形核的可能性;同时,结合籽晶与坩埚之间的结构设计,还能够消除籽晶中50%以上的位错,而且在整个单晶的生长过程中,能够使位错的产生几率降到最低。
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