实用新型
- 专利标题: 一种硅基键合的石墨烯散热覆铜陶瓷基板
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申请号: CN202121006789.3申请日: 2021-05-12
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公开(公告)号: CN215683018U公开(公告)日: 2022-01-28
- 发明人: 阮诗伦 , 张光辉 , 杨华龙 , 孙秀洁 , 吴昕哲 , 贾甜 , 梁晓颖
- 申请人: 郑州大工高新科技有限公司 , 大连理工大学
- 申请人地址: 河南省郑州市自贸试验区郑州片区(经开)第二大街58号兴华大厦2号楼102号;
- 专利权人: 郑州大工高新科技有限公司,大连理工大学
- 当前专利权人: 郑州大工高新科技有限公司,大连理工大学
- 当前专利权人地址: 河南省郑州市自贸试验区郑州片区(经开)第二大街58号兴华大厦2号楼102号;
- 代理机构: 郑州浩德知识产权代理事务所
- 代理商 柏琼琼
- 主分类号: H05K7/20
- IPC分类号: H05K7/20 ; C04B41/85 ; C04B41/88 ; C01B32/186
摘要:
本实用新型涉及电子元器件散热领域的技术领域,尤其是一种硅基键合的石墨烯散热覆铜陶瓷基板,包括从上到下依次设置的铜箔层、陶瓷层和硅基键合石墨烯涂层,所述的硅基键合石墨烯涂层设在所述的陶瓷层的下表面,所述的铜箔层覆在所述的陶瓷层的上表面。本实用新型采用化学气相沉积(CVD)工艺,以含硅化合物作为硅源催化剂,碳氢化合物作为碳源前驱体,在覆铜的陶瓷层表面生长沉积硅基键合的石墨烯涂层,可迅速的将铜箔层上刻蚀的电路或负载的电子器件产生的热量依次通过陶瓷基板和硅基键合的石墨烯涂层散出去。