实用新型
- 专利标题: 一种半导体用高纯度石英管
-
申请号: CN202121920000.5申请日: 2021-08-17
-
公开(公告)号: CN215713526U公开(公告)日: 2022-02-01
- 发明人: 夏雨 , 陈尚华
- 申请人: 东海县安鸿石英科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省连云港市东海县平明镇纪荡村驻地连徐高速平明出口向北100米路东
- 专利权人: 东海县安鸿石英科技有限公司
- 当前专利权人: 东海县安鸿石英科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省连云港市东海县平明镇纪荡村驻地连徐高速平明出口向北100米路东
- 代理机构: 北京挺立专利事务所
- 代理商 彭豆
- 主分类号: C30B31/06
- IPC分类号: C30B31/06 ; H01L21/67 ; F27D7/00 ; F16L23/18
摘要:
本实用新型涉及半导体生产技术领域,且公开了一种半导体用高纯度石英管,包括外管及内管,外管的右端开设有圆孔并通过圆孔与内管的外管壁活动连接,外管的管壁右侧固定连接有多个进气管,外管的内管壁固定连接有两组对称设置的弧形导流块,且两组弧形导流块均相互错开设置,内管的左端固定连接有通气管,内管的右端固定连接有出气管,外管连接有安装机构并通过安装机构与内管连接。本实用新型可以大大提高不同密度的气体的混合均匀性,防止出现气体分层现象,同时可以便于对管内进行清洗,提高清理的便捷性。
IPC分类: