一种半导体用高纯度石英管
摘要:
本实用新型涉及半导体生产技术领域,且公开了一种半导体用高纯度石英管,包括外管及内管,外管的右端开设有圆孔并通过圆孔与内管的外管壁活动连接,外管的管壁右侧固定连接有多个进气管,外管的内管壁固定连接有两组对称设置的弧形导流块,且两组弧形导流块均相互错开设置,内管的左端固定连接有通气管,内管的右端固定连接有出气管,外管连接有安装机构并通过安装机构与内管连接。本实用新型可以大大提高不同密度的气体的混合均匀性,防止出现气体分层现象,同时可以便于对管内进行清洗,提高清理的便捷性。
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