实用新型
- 专利标题: 一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置
-
申请号: CN202122153585.9申请日: 2021-09-03
-
公开(公告)号: CN215866360U公开(公告)日: 2022-02-18
- 发明人: 胡俊林 , 蔡章华 , 孙会民
- 申请人: 厦门柯尔自动化设备有限公司
- 申请人地址: 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区洪垵路670号一层一单元
- 专利权人: 厦门柯尔自动化设备有限公司
- 当前专利权人: 厦门柯尔自动化设备有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区洪垵路670号一层一单元
- 代理机构: 厦门福贝知识产权代理事务所
- 代理商 郭涵炜
- 主分类号: G01N21/01
- IPC分类号: G01N21/01 ; G01N21/95 ; H01L21/66
摘要:
本实用新型提出了一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置,包括架体,还包括夹持定位机构和旋转接料机构,所述旋转接料机构与夹持定位机构均设置于所述架体上,所述夹持定位机构包括连接组件、左夹持组件以及右夹持组件,所述左夹持组件与右夹持组件分别连接于所述连接组件的两端,所述旋转接料机构位于所述左夹持组件与右夹持组件之间,所述旋转接料机构包括旋转组件与框架吸附组件,所述旋转组件用于控制所述框架吸附组件的旋转。通过将蓝膜框架的旋转定位工作从晶圆AOI设备中独立出来,使得晶圆蓝膜框架的旋转不需要在晶圆线阵检测设备中完成,因而能够解决检测平台的微抖动问题,从而能够进一步的提高AOI设备的工作效率。