一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置
摘要:
本实用新型提出了一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置,包括架体,还包括夹持定位机构和旋转接料机构,所述旋转接料机构与夹持定位机构均设置于所述架体上,所述夹持定位机构包括连接组件、左夹持组件以及右夹持组件,所述左夹持组件与右夹持组件分别连接于所述连接组件的两端,所述旋转接料机构位于所述左夹持组件与右夹持组件之间,所述旋转接料机构包括旋转组件与框架吸附组件,所述旋转组件用于控制所述框架吸附组件的旋转。通过将蓝膜框架的旋转定位工作从晶圆AOI设备中独立出来,使得晶圆蓝膜框架的旋转不需要在晶圆线阵检测设备中完成,因而能够解决检测平台的微抖动问题,从而能够进一步的提高AOI设备的工作效率。
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