-
公开(公告)号：CN113607755A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110989155.2
申请日：2021-08-26
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88
摘要： 公开了一种晶圆的自动检测装置，包括基座组件，其包括悬臂和底座平台，悬臂设置于底座平台上；双相机显微成像单元可升降地设置于悬臂上；XYθ轴移动平台，包括设置于底座平台上的X、Y轴移动平台和置于其上的补正平台，补正平台包括固定于X、Y轴移动平台上模组安装底板、通过旋转组件可旋转地设置于安装底板上的载台组件和二者之间的多个XYθ轴导向模组，XYθ轴导向模组包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，导向模组底板与安装底板固定，旋转模块与载台组件固定连接，其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块与驱动装置连接以推动载台组件旋转。该装置可实现快速、高效取像、提高晶圆检测速度和检测精度。
-
公开(公告)号：CN113534433A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110990802.1
申请日：2021-08-26
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
摘要： 公开了一种用于晶圆检测的补正装置，包括安装底板、多个XYθ轴导向模组、驱动装置和载台组件，载台组件可旋转地设置于安装底板上，多个XYθ轴导向模组设置于安装底板与载台组件之间并均布于载台组件的旋转轴所处的圆上，XYθ轴导向模组自下而上包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，导向模组底板与安装底板固定，旋转模块与载台组件固定连接，驱动装置与其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块连接以推动载台组件旋转。该装置可以实现高刚性角度补正和零抖动检测。
-
公开(公告)号：CN113607755B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202110989155.2
申请日：2021-08-26
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88
摘要： 公开了一种晶圆的自动检测装置，包括基座组件，其包括悬臂和底座平台，悬臂设置于底座平台上；双相机显微成像单元可升降地设置于悬臂上；XYθ轴移动平台，包括设置于底座平台上的X、Y轴移动平台和置于其上的补正平台，补正平台包括固定于X、Y轴移动平台上模组安装底板、通过旋转组件可旋转地设置于安装底板上的载台组件和二者之间的多个XYθ轴导向模组，XYθ轴导向模组包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，导向模组底板与安装底板固定，旋转模块与载台组件固定连接，其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块与驱动装置连接以推动载台组件旋转。该装置可实现快速、高效取像、提高晶圆检测速度和检测精度。
-
公开(公告)号：CN113721358A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111243039.2
申请日：2021-10-25
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
摘要： 公开了一种用于晶圆检测的补正装置，包括安装底板、多个XYθ轴导向模组、驱动装置和载台组件，载台组件可旋转地设置于安装底板上，多个XYθ轴导向模组设置于安装底板与载台组件之间并均布于载台组件的旋转轴所处的圆上，XYθ轴导向模组自下而上包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，导向模组底板与安装底板固定，旋转模块与载台组件固定连接，驱动装置与其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块连接以推动载台组件旋转。该装置可以实现高刚性角度补正和零抖动检测。
-
公开(公告)号：CN215953960U
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202122570257.9
申请日：2021-10-25
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
摘要： 公开了一种用于晶圆检测的补正装置，包括安装底板、多个XYθ轴导向模组、驱动装置和载台组件，载台组件可旋转地设置于安装底板上，多个XYθ轴导向模组设置于安装底板与载台组件之间并均布于载台组件的旋转轴所处的圆上，XYθ轴导向模组自下而上包括导向模组底板、X轴导向模块、Y轴导向模块和旋转模块，导向模组底板与安装底板固定，旋转模块与载台组件固定连接，驱动装置与其中一个XYθ轴导向模组的X轴导向模块连接以推动载台组件旋转。该装置可以实现高刚性角度补正和零抖动检测。
-
公开(公告)号：CN214894813U
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202121222653.6
申请日：2021-06-02
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
发明人： 胡俊林
IPC分类号： G01N21/01
摘要： 本实用新型提出了一种用于显微检测的大功率光源散热装置，包括调速阀和散热支架，散热支架的上部设置有若干个栅格板，栅格板两两之间形成散热通道，散热支架内部开设有散热腔，散热腔与散热通道相连通，调速阀安装于散热支架的一侧并与散热腔相连通以将冷风气源通入散热腔内。外部的冷风气源经调速阀进入散热腔后，吸收掉大功率LED灯传递到散热支架中的热能后，从排气通孔排出至散热通道上，而从排气通孔排出的气流会顺势带走栅格板上的热能，以进一步提高散热效率，而且调速阀的设置可以调节进入散热腔的气体流量，以达到理想的散热效果。
-
公开(公告)号：CN217360629U
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202221168741.7
申请日：2022-05-16
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
IPC分类号： G05D3/00
摘要： 本实用新型提出了一种水平精密微调机构，该机构包括底座、调节螺母、紧固螺母、球头、安装台和固定在底座上的螺柱。其中，调节螺母和紧固螺母同心套接在螺柱上，并且调节螺母内安装有一球头，该球头的上下两端对称设置有抱环，安装台固定安装在球头上，调节螺母的上端还案装有一紧固螺丝，旋动紧固螺丝以控制球头与抱环之间的间隙，旋动调节螺母进而带动球头在调节螺母内做零间隙自由转动。通过在调节螺母里面加入可自由转动的球头装置，调节螺母与螺柱配合进行螺纹运动，使得调节螺母可在底座上做无极升降，推动球头装置升降，进而带动安装台做无极升降运动。整个水平精密微调机构安装简便，而且能够快速且精密的进行安装台的高度调节。
-
公开(公告)号：CN215598992U
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202122129613.3
申请日：2021-09-03
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
摘要： 本实用新型提出了一种显微检测的虚拟面对焦装置，包括显微检测单元，还包括高度调节件以及测距装置，所述高度调节件与所述显微检测单元连接，所述测距装置设置于所述显微检测单元的一侧，所述测距装置与所述高度调节件固定连接，所述测距装置与所述高度调节件信号连通。高度调节件将根据测距装置采集到的高度数据，完成对显微检测单元高度的调整，实现显微检测单元的清晰取图，解决现有的显微检测单元在非实体平面显微检测的成像对焦问题，提高取像检测的效率。
-
公开(公告)号：CN217485424U
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202221555075.2
申请日：2022-06-21
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , B25J11/00
摘要： 本实用新型提出了一种晶圆吸附装置，该装置包括机械手本体和设置在机械手本体上的气路换向机构、第一气道、第二气道以及公共气道，其中，气路换向机构的一端与负压接口相连接，另一端与第一气道/第二气道相连通，转动气路换向机构使负压接口、第一气道以及公共气道相连通或者使负压接口、第二气道以及公共气道相连通。本申请提供的晶圆吸附装置能够改变气路方向，可以吸附不同尺寸的晶圆蓝膜铁框，无需更换吸附装置、无需重新校点，能够节约生产时间，提高设备的生产效率。
-
公开(公告)号：CN215866360U
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202122153585.9
申请日：2021-09-03
申请人： 厦门柯尔自动化设备有限公司
摘要： 本实用新型提出了一种晶圆蓝膜框架旋转定位装置，包括架体，还包括夹持定位机构和旋转接料机构，所述旋转接料机构与夹持定位机构均设置于所述架体上，所述夹持定位机构包括连接组件、左夹持组件以及右夹持组件，所述左夹持组件与右夹持组件分别连接于所述连接组件的两端，所述旋转接料机构位于所述左夹持组件与右夹持组件之间，所述旋转接料机构包括旋转组件与框架吸附组件，所述旋转组件用于控制所述框架吸附组件的旋转。通过将蓝膜框架的旋转定位工作从晶圆AOI设备中独立出来，使得晶圆蓝膜框架的旋转不需要在晶圆线阵检测设备中完成，因而能够解决检测平台的微抖动问题，从而能够进一步的提高AOI设备的工作效率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
17 条记录 (耗时 0.029 秒)
