实用新型
- 专利标题: 一种探针台及IGBT芯片测试系统
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申请号: CN202122761519.X申请日: 2021-11-11
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公开(公告)号: CN216248084U公开(公告)日: 2022-04-08
- 发明人: 杜泽晨 , 杨霏 , 吴军民
- 申请人: 全球能源互联网研究院有限公司 , 国家电网有限公司
- 申请人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号;
- 专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司,国家电网有限公司
- 当前专利权人: 全球能源互联网研究院有限公司,国家电网有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市昌平区未来科技城滨河大道18号;
- 代理机构: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司
- 代理商 薛异荣
- 主分类号: G01R1/073
- IPC分类号: G01R1/073 ; G01R31/28
摘要:
本实用新型提供一种探针台及IGBT芯片测试系统,探针台包括:导电载台,导电载台适于承载IGBT芯片且与IGBT芯片的集电极接触;绝缘支撑件,绝缘支撑件位于导电载台的侧部;绝缘升降件,绝缘升降件与导电载台相对设置并适于沿着绝缘支撑件作升降运动;探针组件,探针组件包括相互间隔的栅极探针和发射极探针,栅极探针的一端和发射极探针的一端分别贯穿绝缘升降件,栅极探针的相对端适于与IGBT芯片的栅极接触,发射极探针的相对端适于与IGBT芯片的发射极接触。探针台能够直接对IGBT芯片进行动态特性测试,避免了对IGBT芯片封装带来的寄生参数,提高了动态特性测试的结果的准确性。同时,还避免了对IGBT芯片进行封装,节约了封装成本。