一种探针台及IGBT芯片测试系统
摘要:
本实用新型提供一种探针台及IGBT芯片测试系统,探针台包括:导电载台,导电载台适于承载IGBT芯片且与IGBT芯片的集电极接触;绝缘支撑件,绝缘支撑件位于导电载台的侧部;绝缘升降件,绝缘升降件与导电载台相对设置并适于沿着绝缘支撑件作升降运动;探针组件,探针组件包括相互间隔的栅极探针和发射极探针,栅极探针的一端和发射极探针的一端分别贯穿绝缘升降件,栅极探针的相对端适于与IGBT芯片的栅极接触,发射极探针的相对端适于与IGBT芯片的发射极接触。探针台能够直接对IGBT芯片进行动态特性测试,避免了对IGBT芯片封装带来的寄生参数,提高了动态特性测试的结果的准确性。同时,还避免了对IGBT芯片进行封装,节约了封装成本。
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