本实用新型提出了一种晶圆吸附装置，该装置包括机械手本体和设置在机械手本体上的气路换向机构、第一气道、第二气道以及公共气道，其中，气路换向机构的一端与负压接口相连接，另一端与第一气道/第二气道相连通，转动气路换向机构使负压接口、第一气道以及公共气道相连通或者使负压接口、第二气道以及公共气道相连通。本申请提供的晶圆吸附装置能够改变气路方向，可以吸附不同尺寸的晶圆蓝膜铁框，无需更换吸附装置、无需重新校点，能够节约生产时间，提高设备的生产效率。