实用新型
- 专利标题: 一种反射率测量装置
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申请号: CN202221911091.0申请日: 2022-07-21
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公开(公告)号: CN217931383U公开(公告)日: 2022-11-29
- 发明人: 李瑞青 , 黄文勇 , 焦宏达 , 王林梓 , 马铁中
- 申请人: 南昌昂坤半导体设备有限公司
- 申请人地址: 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层
- 专利权人: 南昌昂坤半导体设备有限公司
- 当前专利权人: 南昌昂坤半导体设备有限公司
- 当前专利权人地址: 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区艾溪湖北路688号中兴科技园8号厂房一层
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 何世磊
- 主分类号: G01N21/55
- IPC分类号: G01N21/55 ; G01N21/01 ; G01B21/22
摘要:
本实用新型提供一种反射率测量装置,包括架体及滑动式设于架体上的反射率测量组件,反射率测量组件包括反射率探头,及设于反射率探头及架体之间的手动测角仪,手动测角仪的两端分别设有第一转接板及第二转接板,反射率探头及架体分别通过第一转接板及第二转接板与手动测角仪的两端连接。本实用新型中的反射率测量装置,通过将反射率探头滑动式设于架体,便于对反射率探头及石墨盘之间的高度进行调节,进一步通过在架体与反射率探头之间设置手动测角仪,便于快速精确的对反射率探头的角度进行调节,提高调节效率。