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公开(公告)号：CN115679295A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211713240.7
申请日：2022-12-30
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/52 , H01J37/32
摘要： 本发明公开了一种石墨盘旋转漂移修正方法、装置、存储介质及电子设备，该方法包括：在石墨盘旋转过程中，采集所述石墨盘旋转过程中的信号数据，所述信号数据至少包括石墨盘信号和晶圆信号；根据所述信号数据确定所述石墨盘信号和晶圆信号的临界点比例，并根据所述临界点比例对所述信号数据进行裁剪以将所述信号数据转换成信号方波；获取所述石墨盘与驱动所述石墨盘旋转的驱动模块的连接关系，并根据所述连接关系确定对应的偏移量确定方式，以按所述偏移量确定方式对所述信号方波进行处理以确定所述石墨盘旋转过程中产生的漂移量。本发明解决了现有技术中驱动模块在带动石墨盘在旋转时会存在角度偏移而导致晶圆定位不精准的问题。
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公开(公告)号：CN115018857B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210953897.4
申请日：2022-08-10
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G06T7/10
摘要： 一种图像分割方法、装置、计算机可读存储介质及计算机设备，该方法包括：将训练样本图像进行像素归一化处理；将归一化处理后的训练样本图像输入至图像分割模型中进行图像分割处理；将图像分割模型输出的预测概率以及训练样本图像的分割真值输入到目标损失函数中进行损失值计算，该目标损失函数用于进行交叉损失计算、平均绝对误差损失计算，以及像素类别内的损失计算与像素类别间的损失计算；当计算出的损失值大于预设值时，根据损失值对图像分割模型的参数进行优化；当计算出的损失值小于或等于预设值时，将待测图像输入至图像分割模型中，得到待测图像的图像分割结果。本发明图像分割精度，以及图像分割效率均优于现有技术。
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公开(公告)号：CN115077424B
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202210832532.6
申请日：2022-07-15
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/245 , H01L21/66
摘要： 本发明公开了一种实时晶圆片表面曲率检测装置及方法，本发明采用多个发射波长不同的激光器发射出不同颜色的激光，并通过光路设计，将不同颜色的激光合成为一个合束激光，合束激光投射在被测量晶圆片表面后，形成反射光，反射光再经过设计的光路，形成多个单色激光光束，最终能够使各个PSD位移传感器接收到反射的激光光斑，通过PSD位移传感器监测到的激光光斑的位移变化量，实现被测量晶圆片表面曲率的检测，本发明避免了外延层生长时，反射光干涉对测量的干扰，且本发明能够在高速旋转转盘上实时对晶圆片表面曲率进行准确测量。
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公开(公告)号：CN113533770A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110775866.X
申请日：2021-07-09
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速方法及装置，通过MOCVD设备上的激光测量探头并发出一束激光；该激光照射到MOCVD设备的行星式托盘上，随着行星式托盘旋转，也会照射到卫星盘上以及卫星盘上的晶圆片；反射回的激光经分光后转换成电信号；对电信号在2个trigger脉冲信号的时间内以固定频率f采样，得出每次采样行星式托盘转过的角度Δα；根据角度Δα，计算晶圆片边缘进入和处测量点时的自转角度值ф0、ф1；通过计算出ф0和ф1角的变化即可得出卫星盘的自转速度。本发明适用于卫星盘转速大于行星式托盘转速，并且卫星盘上晶圆片数大于等于2的情况。
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公开(公告)号：CN115325956B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211264670.5
申请日：2022-10-17
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： G01B11/16
摘要： 本发明提供一种晶圆翘曲度测量方法，该方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于卫星盘上待测晶圆的预设测量位置，利用位置传感器获取待测晶圆所反射的激光光斑信息，并根据激光光斑信息得到对应的激光反射角度；控制卫星盘进行自转，并控制石墨托盘进行公转，以第一预设采样频率对位置传感器进行数据采样，得到待测晶圆的采样次数以及石墨托盘的采样次数；根据石墨托盘的采样次数计算出每次采样时石墨托盘的旋转角度，并基于石墨托盘的旋转角度和待测晶圆的采样次数计算出每次采样时待测晶圆的旋转角度，并计算出预设测量位置与待测晶圆中心的距离；根据每次采样时预设测量位置与待测晶圆中心的距离和激光反射角度计算出待测晶圆的翘曲度。
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公开(公告)号：CN115325956A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202211264670.5
申请日：2022-10-17
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司
IPC分类号： G01B11/16
摘要： 本发明提供一种晶圆翘曲度测量方法，该方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于卫星盘上待测晶圆的预设测量位置，利用位置传感器获取待测晶圆所反射的激光光斑信息，并根据激光光斑信息得到对应的激光反射角度；控制卫星盘进行自转，并控制石墨托盘进行公转，以第一预设采样频率对位置传感器进行数据采样，得到待测晶圆的采样次数以及石墨托盘的采样次数；根据石墨托盘的采样次数计算出每次采样时石墨托盘的旋转角度，并基于石墨托盘的旋转角度和待测晶圆的采样次数计算出每次采样时待测晶圆的旋转角度，并计算出预设测量位置与待测晶圆中心的距离；根据每次采样时预设测量位置与待测晶圆中心的距离和激光反射角度计算出待测晶圆的翘曲度。
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公开(公告)号：CN115165920A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202211081630.7
申请日：2022-09-06
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种三维缺陷检测方法及检测设备，该方法包括将具有镜面结构的待检测物放置于载台上，并将待检测物的镜面侧朝向网格板具有网格纹的一侧设置；启用照明组件照射网格板具有网格纹的一侧，以使待检测物的镜面侧映照出网格纹的图像；通过拍摄元件获取待检测物的镜面侧的检测图像；获取检测图像中的目标检测区域，并基于预设神经网络模型判断目标检测区域中出现的网格纹的图像是否发生扭曲；若是，则判定当前待检测物的镜面侧具有三维缺陷。通过上述方式在只需要使用网格板、照明组件以及拍摄元件的前提下就能够简单、快速的完成对镜面结构的三维缺陷检测，从而大幅提升了检测效率。
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公开(公告)号：CN115018857A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210953897.4
申请日：2022-08-10
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G06T7/10
摘要： 一种图像分割方法、装置、计算机可读存储介质及计算机设备，该方法包括：将训练样本图像进行像素归一化处理；将归一化处理后的训练样本图像输入至图像分割模型中进行图像分割处理；将图像分割模型输出的预测概率以及训练样本图像的分割真值输入到目标损失函数中进行损失值计算，该目标损失函数用于进行交叉损失计算、平均绝对误差损失计算，以及像素类别内的损失计算与像素类别间的损失计算；当计算出的损失值大于预设值时，根据损失值对图像分割模型的参数进行优化；当计算出的损失值小于或等于预设值时，将待测图像输入至图像分割模型中，得到待测图像的图像分割结果。本发明图像分割精度，以及图像分割效率均优于现有技术。
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公开(公告)号：CN114608482B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210506837.8
申请日：2022-05-11
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
IPC分类号： G01B11/255
摘要： 本发明提供一种曲率测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备，方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于待测晶圆的预设照射位置，并控制待测晶圆进行自转，并获取到待测晶圆整圈的偏移量数据，根据偏移量数据计算出表面倾斜量；对两标准校准片分别按照上述步骤进行处理，以得到两标准校准片的偏移量数据，根据该偏移量数据计算出对应的基值及校准系数；根据基值、校准系数以及表面倾斜量计算得到待测晶圆的曲率值。本发明通过激光发射器照射在转动或自转状态下的待测晶圆，得到整圈的偏移量数据，计算出对应的表面倾斜量，利用两标准校准片来获得基值和标准系数，利用表面倾斜量、两基值和标准系数计算出待测晶圆的曲率值，节省计算成本。
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公开(公告)号：CN115239719A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202211154884.7
申请日：2022-09-22
申请人： 南昌昂坤半导体设备有限公司 , 昂坤视觉(北京)科技有限公司
摘要： 本发明提供了一种缺陷检测方法、系统、电子设备及存储介质，属于晶圆表面缺陷视觉检测的技术领域；所述方法包括将获取的若干无缺陷图像构建无缺陷图像样本集，基于无缺陷图像样本集针对预设图像重建模型进行训练得到目标图像重建模型，将若干待检测缺陷图像输入至目标图像重建模型进行图像重建，并基于图像重建的结果构建图像分割标注数据集，基于图像分割标注数据集针对预设图像分割模型进行训练得到目标图像分割模型，获取晶圆的待检测图像，将待检测图像输入至目标图像分割模型，并通过目标图像分割模型实时输出缺陷二值图。本申请可实现待检测图像实时输出缺陷二值图。
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