气流传感器及包括其的电子烟
摘要:
本实用新型公开了一种气流传感器及包括其的电子烟。根据本实用新型实施例的气流传感器包括基板;外壳,与所述基板相连接以形成容纳腔;与所述容纳腔相连通的透气孔;微机电传感器,设置在所述容纳腔中;ASIC芯片,设置在所述容纳腔中,并分别与所述基板和所述微机电传感器电连接,其中,所述微机电传感器包括相对设置的膜片和背极板;气体通过所述透气孔流出所述容纳腔,引起所述膜片和所述背极板间电容值变化;所述ASIC芯片获取所述电容值变化,并根据所述电容值变化生成气流变化信号。根据本实用新型实施例的气流传感器及包括其的电子烟,采用了MEMS形式的封装,适用于表面贴装工艺,结构简单、工艺方便,且能够准确地进行吸气检测。
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