本实用新型公开了一种尾气处理系统，包括：HF冷凝回收装置、SF4冷凝回收装置和碱液处理槽，每个冷凝回收装置包括内盛有甲醇作为冷冻液的冷冻槽、放置在冷冻槽内的钢瓶和绕设在钢瓶外壁的液氮盘管，两个冷冻槽内冷冻液温度分别为‑20℃～‑30℃和‑50℃～‑70℃。HF钢瓶的进气口与高压反应釜的出气口通过管道连接，HF钢瓶出气口与SF4钢瓶的进气口通过管道连接，SF4钢瓶出气口通过管道通入碱液处理槽中。本实用新型系统大大减少了碱液的使用，减少了大量三废的产生，分离出的液化氟化氢和四氟化硫可直接回用，实现循环使用，显著降低生产成本，具有工业化应用价值。