实用新型
- 专利标题: 一种掩模版上金属引导器的去除装置
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申请号: CN202223403563.4申请日: 2022-12-19
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公开(公告)号: CN219202124U公开(公告)日: 2023-06-16
- 发明人: 郭成恩 , 谢超
- 申请人: 深圳市龙图光罩股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区新桥街道象山社区新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房101
- 专利权人: 深圳市龙图光罩股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳市龙图光罩股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区新桥街道象山社区新玉路北侧圣佐治科技工业园4#厂房101
- 代理机构: 广东普润知识产权代理有限公司
- 代理商 寇闯
- 主分类号: G03F1/68
- IPC分类号: G03F1/68 ; G03F1/82
摘要:
一种掩模版上金属引导器的去除装置,包括设备主机和固定组件,设备主机包括加载运动装置和加热柱组件,固定组件包括底座和盖板,固定组件通过底座连接加载运动装置,盖板可拆卸的安装在底座上,底座和盖板配合用于夹持掩模版,底座和盖板对应金属引导器位置均具有避位区,加载运动装置能够驱动固定组件上下运动,加热柱组件设置在对应避位区处,加热柱组件顶部设有位于金属引导器下方的加热强磁体,加热强磁体用于磁吸金属引导器并加热金属引导器。基于本实用新型,通过加热的方式,胶水熔化后,使得胶水易于去除,加热过程可控,可提高金属引导器的拆卸效率,且拆卸效果稳定,无须对金属引导器进行撬除,不会损伤掩模版。