一种掩模版上金属引导器的去除装置
摘要:
一种掩模版上金属引导器的去除装置,包括设备主机和固定组件,设备主机包括加载运动装置和加热柱组件,固定组件包括底座和盖板,固定组件通过底座连接加载运动装置,盖板可拆卸的安装在底座上,底座和盖板配合用于夹持掩模版,底座和盖板对应金属引导器位置均具有避位区,加载运动装置能够驱动固定组件上下运动,加热柱组件设置在对应避位区处,加热柱组件顶部设有位于金属引导器下方的加热强磁体,加热强磁体用于磁吸金属引导器并加热金属引导器。基于本实用新型,通过加热的方式,胶水熔化后,使得胶水易于去除,加热过程可控,可提高金属引导器的拆卸效率,且拆卸效果稳定,无须对金属引导器进行撬除,不会损伤掩模版。
0/0