一种带缓冲结构的晶圆盒
摘要:
本实用新型提供一种带缓冲结构的晶圆盒。所述带缓冲结构的晶圆盒包括下壳和上壳,所述下壳与所述上壳相卡装,所述下壳和所述上壳密封连接,所述下壳和所述上壳均为方形设置,所述下壳包括第一外壳体,所述第一外壳体内设有第一圆形框,所述第一圆形框上开设有两个卡槽,所述第一圆形框的外侧设有四个呈矩形分布的母扣,所述第一外壳体的内部四角均设有第一放置槽,所述下壳上固定安装有单向阀,所述上壳包括第二外壳体,所述第二外壳体内固定安装有第二圆形框,所述第二圆形框与所述第一圆形框相适配。本实用新型提供的带缓冲结构的晶圆盒具有使用方便、便于堆叠和运输、能够根据晶圆材质的要对运输时的带缓冲结构的晶圆盒进行抽真空、充氮气和添加干燥剂,从而能够更好的保护晶圆的优点。
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