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公开(公告)号：CN118003546A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410359966.8
申请日：2024-03-27
申请人： 广东迈捷微新材料有限公司
发明人： 袁黔云
摘要： 本发明公开了高洁净晶圆储运盒制备，所述制备方法如下：步骤一：原材料选取；步骤二：烤料：将材料暂存在带密封盖洁净不锈钢桶中，干燥桶清洗清洁，材料进行烘烤，去除高沸点的有机物；步骤三：注塑成型：清理前生产余料，用V5材料清机3倍料管容量/V5专用螺杆，模具需线下彻底清洗后上机10PCS产品成型清洗,用高纯无水酒精清洗，防止清洗剂与材料反应，注塑时是独立成型环境，下壳注塑时间需在上壳前或同时进行，注塑3车间成型，独立成型防止注塑时材料与空气发生反应；本发明制备的高洁净晶圆储运盒具有优异的隔离性能、低颗粒物和离子污染等特点，可广泛应用于医疗、食品包装、电子等领域；本发明制备的高洁净晶圆储运盒具有更高的质量和安全性。
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公开(公告)号：CN221805495U
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202420199067.1
申请日：2024-01-27
申请人： 广东迈捷微新材料有限公司
发明人： 袁黔云
IPC分类号： H01L21/683 , C08L23/06 , C08K3/04 , C08J5/18
摘要： 本实用新型公开了一种双凸点PECNT膜，其特征在于，包括双凸点PECNT膜本体，双凸点PECNT膜本体的表面设置有多个凸点膜，双凸点PECNT膜本体表面还设置有多个凹点膜，凹点膜与凸点膜相，双凸点PECNT膜本体两面对称结构，方便使用过程中无需区分正反面。本实用新型通过碳纳米管(碳纳米管具有物质单一纯度高，低含量时能有较好的导送传输电荷的功能)复配高纯聚乙烯烃材料制成从而到达放置晶圆芯片运送期间与运送集昕防止产生静电损坏晶圆；后续通过热压装置形成凸点膜和凹点膜，在晶圆包装中可直接接触晶圆片，与传统隔离薄片相比更高纯度材料更少颗粒物析出以及更少的接触面积，防止晶圆芯片在运送期间相互摩擦导致晶圆损坏。
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公开(公告)号：CN219321312U
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202223606407.8
申请日：2022-12-30
申请人： 广东迈捷微新材料有限公司
发明人： 袁黔云
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/67
摘要： 本实用新型公开了一种便于晶圆蚀刻的清洗花篮，包括清洗花篮，所述清洗花篮中部镂空，前后两侧边设有多个对称的晶圆放置槽，所述晶圆放置槽从左到右等距分布，所述晶圆放置槽内容纳有晶圆，所述晶圆可在晶圆放置槽内自由转动。本实用新型通过设置的清洗花篮，其外形尺寸能完美契合2寸产线，通过其上设置的晶圆放置槽容纳1寸晶圆，能利用现有设备2寸线加工1寸线，完美契合2寸线生产1寸线黄光以及蚀刻站需求，清洗花篮上的镂空结构，使晶圆能充分与刻蚀液接触，增加反应速率，进而提高生产效率，并且多个等距分布的晶圆放置槽，使得每个晶圆各部分的反应速度趋于一致，从而达到晶圆沟槽刻蚀均匀性的目的，缩短了生产周期，适合批量生产。
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公开(公告)号：CN219226245U
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202320128529.6
申请日：2023-01-12
申请人： 广东迈捷微新材料有限公司
发明人： 袁黔云
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本实用新型提供一种带缓冲结构的晶圆盒。所述带缓冲结构的晶圆盒包括下壳和上壳，所述下壳与所述上壳相卡装，所述下壳和所述上壳密封连接，所述下壳和所述上壳均为方形设置，所述下壳包括第一外壳体，所述第一外壳体内设有第一圆形框，所述第一圆形框上开设有两个卡槽，所述第一圆形框的外侧设有四个呈矩形分布的母扣，所述第一外壳体的内部四角均设有第一放置槽，所述下壳上固定安装有单向阀，所述上壳包括第二外壳体，所述第二外壳体内固定安装有第二圆形框，所述第二圆形框与所述第一圆形框相适配。本实用新型提供的带缓冲结构的晶圆盒具有使用方便、便于堆叠和运输、能够根据晶圆材质的要对运输时的带缓冲结构的晶圆盒进行抽真空、充氮气和添加干燥剂，从而能够更好的保护晶圆的优点。
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公开(公告)号：CN221542489U
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202420296752.6
申请日：2024-02-18
申请人： 广东迈捷微新材料有限公司
发明人： 袁黔云
摘要： 本实用新型公开了一种晶圆片储运盒，包括上壳、晶圆和下壳，上壳与下壳结构相同，上壳与下壳可拆卸安装，晶圆存放在上壳与下壳之间，上壳包括上壳本体、弧形凹槽、第一支撑柱和第二支撑柱，上壳本体的左侧安装有多个第一支撑柱，上壳本体的右侧设置有多个第二支撑柱，上壳本体的内部为弧形凹槽，弧形凹槽用于存放晶圆，上壳和下壳结构相同。本实用新型通过第一支撑柱、第二支撑柱和凸块使晶圆在运输期间能够更多的运输和减少晶圆损坏；通过弧形凹槽能够减少晶圆摩擦损坏晶圆；通过上壳和下壳的一样的设计和内部设置有弧形凹槽来替代掉市面上的中间带有清洗花篮的设计，这样大大减少了成本，降低了企业的负担。
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公开(公告)号：CN219457547U
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202320210854.7
申请日：2023-02-14
申请人： 广东迈捷微新材料有限公司
发明人： 袁黔云
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本实用新型提供一种兼容多尺寸晶圆加工的花篮。所述一种兼容多尺寸晶圆加工的花篮包括第一支架，所述第一支架内安装有第二支架，所述第二支架与所述第一支架为可拆卸设置所述第一支架包括两个第一竖板，两个所述第一竖板之间固定安装有第一横板和第二横板，两个所述第一竖板相互靠近的一侧均固定安装多个呈线性分布的第一定位条，所述第一竖板的顶部开设有定位槽所述第二支架包括两个第二竖板，两个所述第二竖板之间固定安装有第三横板和第四横板，两个所述第二竖板相互靠近的一侧均固定安装有多个呈线性分布的第二定位条。本实用新型提供的一种兼容多尺寸晶圆加工的花篮具有使用方便、操作简单，能够方便6寸晶圆和4寸晶圆进行快速切换的优点。
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公开(公告)号：CN219267616U
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202320107604.0
申请日：2023-02-03
申请人： 广东迈捷微新材料有限公司
发明人： 袁黔云
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本实用新型公开了一种带防静电吸塑边条的晶圆存放盒，包括晶圆盒，吸塑边条和晶圆片，所述吸塑边条卷曲成环贴合所述晶圆盒的内侧壁进行安装，所述吸塑边条上设有晶圆缓冲部，所述晶圆缓冲部用于对所述晶圆片进行固定和保护。本实用新型通过吸塑边条上设有的晶圆缓冲部设置为类山字形结构，能提供更大的缓冲力度和抗冲击强度，能对晶圆片提供更好的保护，并且吸塑边条清理方便，整体可水洗，能有效降低颗粒物和表面离子污染，不易损坏，可重复利用，减少使用成本。
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