一种晶棒吊运夹具
摘要:
本实用新型属于晶棒加工技术领域。鉴于现有的晶棒吊运装置存在结构比较复杂,不方便进行控制的问题,本实用新型公开了一种晶棒吊运夹具,该夹具包括安装座;剪叉式伸缩装置,安装在所述安装座上;第一夹件,安装在所述安装座的一侧;第二夹件,安装在所述安装座的另一侧,和所述第一夹件相对设置;所述第二夹件和所述第一夹件相对的表面形成能够夹持晶棒的夹持面;自锁装置,用于锁定所述剪叉式伸缩装置;其中,所述第一夹件和所述第二夹件可随所述剪叉式伸缩装置的动作张开或抱合,以松开或夹紧晶棒。该夹具结构简单,能实现快速稳定地吊装晶棒。
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