一种晶圆电泳用放置架
摘要:
一种晶圆电泳用放置架,包括:支撑架、承载架。支撑架长度方向两端设有多个支撑杆,承载架穿设于支撑杆上,承载架沿其长度方向设有多个承载框,承载框内侧沿其长度方向设有多个卡槽,用于承载晶圆。支撑杆上设有挡环,挡环位于承载架上方,支撑杆上套设有两个弹簧,弹簧分别位于承载架上下两侧,且始终处于压缩状态;承载架上方设有支架,支架上沿其宽度方向设有多列电极片,每列电极片有多个,且相邻两个电极片互相连接,用于与晶圆侧面接触,其中位于两端的电极片连接于一个连接片,连接片与外接电路电性连接。能够放置更多的晶圆,提高电泳效率,并且提供减震效果,避免晶圆由于硬性接触而破裂。
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