本实用新型提供了一种单晶炉真空泵数据采集与控制系统，涉及真空泵技术领域。本实用新型包括通信连接的主控单元和采集单元，主控单元包括监控主机及与其线路连接的第二以太网交换机，采集单元包括第一以太网交换机以及与其线路连接的PLC组，采集单元的数量与厂房数量适配，任一厂房内的多个真空泵均与对应采集单元的PLC组线路连接，第一以太网交换机与第二以太网交换机通信连接。本实用新型可对多个真空泵集中进行数据采集和控制，集中显示真空泵的实时运行数据，根据运行数据可发现或预测真空泵的故障。