本实用新型公开了一种用于石英玻璃模具用镀膜结构，涉及模具镀膜技术领域，包括石英玻璃模具，所述石英玻璃模具的表面刻蚀有刻蚀槽，所述石英玻璃模具的表面通过刻蚀槽镀有保护层，所述刻蚀槽包括横槽和竖槽，所述横槽和竖槽垂直相交，所述横槽和竖槽的数量均为若干个，所述横槽和竖槽的宽度为20纳米至50纳米，所述横槽和竖槽的深度为10纳米至50纳米；本实用新型通过在石英玻璃模具的表面增加刻蚀槽，通过刻蚀槽与保护层结合，增加石英玻璃模具与保护层之间的接触面积，以增强石英玻璃模具与保护层之间的结合力，避免保护层的脱落。