实用新型
- 专利标题： 低压化学气相沉积镀膜设备的炉管机构
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申请号： CN202323097585.7申请日： 2023-11-15
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公开(公告)号： CN221117602U公开(公告)日： 2024-06-11
- 发明人: 葛怀庆 , 王杨阳 , 房如枫 , 杨陆晗
- 申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 申请人地址： 安徽省蚌埠市汤和路268号
- 专利权人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 当前专利权人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省蚌埠市汤和路268号
- 代理机构： 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司
- 代理商 王琪; 和聚龙
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44 ; C22C38/08
摘要：
本实用新型给出了一种低压化学气相沉积镀膜设备的炉管机构；包括真空端盖、进口法兰、出口法兰和炉管主体，炉管主体内孔为低压化学气相沉积镀膜的作业腔室，进口法兰套装在炉管主体一侧端口处，出口法兰套装在炉管主体另一侧端口处，真空端盖与出口法兰密封配合，炉管主体的材质选用因瓦合金。因瓦合金材质炉管主体符合低压化学气相沉积镀膜的要求，提升了炉管主体的使用寿命。
IPC分类:
