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公开(公告)号：CN108843171A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810951454.5
申请日：2018-08-21
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
IPC分类号： E05F15/00
摘要： 真空室门板推进装置的传动组件，包括门板、驱动装置，驱动装置上设有安装板，还包括第一圆筒、第二圆筒、销杆、球面轴承、第一螺母；第一螺母、球面轴承左右布置，第一圆柱从右至左穿过球面轴承内圈与第一螺母旋接，球面轴承套接于第二圆柱的周向外侧，球面轴承内圈左侧与第一螺母右侧相抵靠，球面轴承内圈右侧与第三圆柱左侧相抵靠，球面轴承外圈设于第一凹进内，第一圆柱左侧与第一圆筒左侧之间留有一定距离；第一圆筒左侧与门板连接，第二圆筒右侧与安装板连接，第三圆柱右部设于第二圆筒内腔中，第三圆柱右侧与第二圆筒内腔的右侧之间留有距离。其能够在推进门板闭合时自动调整门板角度使其与路口法兰紧密贴合。
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公开(公告)号：CN117587383A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311540865.2
申请日：2023-11-15
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
摘要： 本发明给出了一种因瓦合金的新用途，其特征在于：作为低压化学气相沉积镀膜作业中炉管的材料。因瓦合金具有低热膨胀系数、高温稳定性好等优点，可以有效提高炉管主体的耐高温性能和尺寸稳定性，从而提高镀膜质量和效率。本发明还给出了一种低压化学气相沉积镀膜设备的炉管机构；包括真空端盖、进口法兰、出口法兰和炉管主体，炉管主体内孔为低压化学气相沉积镀膜的作业腔室，进口法兰套装在炉管主体一侧端口处，出口法兰套装在炉管主体另一侧端口处，真空端盖与出口法兰密封配合，炉管主体的材质选用因瓦合金。因瓦合金材质炉管主体符合低压化学气相沉积镀膜的要求，提升了炉管主体的使用寿命。
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公开(公告)号：CN108843171B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN201810951454.5
申请日：2018-08-21
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
IPC分类号： E05F15/00
摘要： 真空室门板推进装置的传动组件，包括门板、驱动装置，驱动装置上设有安装板，还包括第一圆筒、第二圆筒、销杆、球面轴承、第一螺母；第一螺母、球面轴承左右布置，第一圆柱从右至左穿过球面轴承内圈与第一螺母旋接，球面轴承套接于第二圆柱的周向外侧，球面轴承内圈左侧与第一螺母右侧相抵靠，球面轴承内圈右侧与第三圆柱左侧相抵靠，球面轴承外圈设于第一凹进内，第一圆柱左侧与第一圆筒左侧之间留有一定距离；第一圆筒左侧与门板连接，第二圆筒右侧与安装板连接，第三圆柱右部设于第二圆筒内腔中，第三圆柱右侧与第二圆筒内腔的右侧之间留有距离。其能够在推进门板闭合时自动调整门板角度使其与路口法兰紧密贴合。
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公开(公告)号：CN112410758A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201910774024.5
申请日：2019-08-21
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： LPCVD和ALD两用布气装置，包括加热炉，加热炉炉口处设置有用于连接布气装置的紧固法兰，紧固法兰沿轴向远离加热炉的一侧设有两个同轴连接的布气法兰，两个布气法兰与紧固法兰通过螺栓配合连接，设沿布气法兰的轴向靠近加热炉的一侧为内、远离加热炉的一侧为外，所述位于外侧的那个布气法兰的外侧设有一个与布气法兰相匹配的炉口盖板。采用本装置可以使一个加热炉兼容两种镀膜工艺，可以减少加热炉的采购量，减少成本而且还可以节省占用空间。
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公开(公告)号：CN115816433A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211739205.2
申请日：2022-12-31
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
摘要： 一种防撞传动机构，包括左右对称的传动组件，每个传动组件均包括三个板体，两第一板体之间设有转轴，其中一个第一板体上设有一个驱动转轴的电机，第二板体上设有齿条，转轴对应齿条处均设有齿轮并与齿条啮合；第三板体与第二板体通过环形钢丝传动，第三板体上通过万向节球头连接有一个竖板，竖板下侧设有横板，横板与竖板垂直，两个第三板体之间设有对射光电，第三板体上侧对应竖板的前后两端处设有调平的玻珠定位螺丝，第三板体底部设有第一、第二微动开关，第一微动开关反馈传动组件是否装载石英舟，第二微动开关判断竖板是否发生碰撞偏转，本机构通过设置调平装置以及各种传感器，可以充分反馈该传动机构当前的工作状态，保证运转安全。
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公开(公告)号：CN209228240U
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201821344461.0
申请日：2018-08-21
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
IPC分类号： E05F15/00
摘要： 真空室门板推进装置的传动组件，包括门板、驱动装置，驱动装置上设有安装板，还包括第一圆筒、第二圆筒、销杆、球面轴承、第一螺母；第一螺母、球面轴承左右布置，第一圆柱从右至左穿过球面轴承内圈与第一螺母旋接，球面轴承套接于第二圆柱的周向外侧，球面轴承内圈左侧与第一螺母右侧相抵靠，球面轴承内圈右侧与第三圆柱左侧相抵靠，球面轴承外圈设于第一凹进内，第一圆柱左侧与第一圆筒左侧之间留有一定距离；第一圆筒左侧与门板连接，第二圆筒右侧与安装板连接，第三圆柱右部设于第二圆筒内腔中，第三圆柱右侧与第二圆筒内腔的右侧之间留有距离。其能够在推进门板闭合时自动调整门板角度使其与路口法兰紧密贴合。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN221117602U
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202323097585.7
申请日：2023-11-15
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
摘要： 本实用新型给出了一种低压化学气相沉积镀膜设备的炉管机构；包括真空端盖、进口法兰、出口法兰和炉管主体，炉管主体内孔为低压化学气相沉积镀膜的作业腔室，进口法兰套装在炉管主体一侧端口处，出口法兰套装在炉管主体另一侧端口处，真空端盖与出口法兰密封配合，炉管主体的材质选用因瓦合金。因瓦合金材质炉管主体符合低压化学气相沉积镀膜的要求，提升了炉管主体的使用寿命。
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公开(公告)号：CN211005612U
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201921362811.0
申请日：2019-08-21
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： LPCVD和ALD两用布气装置，包括加热炉，加热炉炉口处设置有用于连接布气装置的紧固法兰，紧固法兰沿轴向远离加热炉的一侧设有两个同轴连接的布气法兰，两个布气法兰与紧固法兰通过螺栓配合连接，设沿布气法兰的轴向靠近加热炉的一侧为内、远离加热炉的一侧为外，所述位于外侧的那个布气法兰的外侧设有一个与布气法兰相匹配的炉口盖板。采用本装置可以使一个加热炉兼容两种镀膜工艺，可以减少加热炉的采购量，减少成本而且还可以节省占用空间。
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公开(公告)号：CN218965414U
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202223603317.3
申请日：2022-12-31
申请人： 普乐新能源(蚌埠)有限公司
摘要： 一种防撞传动机构，包括左右对称的传动组件，每个传动组件均包括三个板体，两第一板体之间设有转轴，其中一个第一板体上设有一个驱动转轴的电机，第二板体上设有齿条，转轴对应齿条处均设有齿轮并与齿条啮合；第三板体与第二板体通过环形钢丝传动，第三板体上通过万向节球头连接有一个竖板，竖板下侧设有横板，横板与竖板垂直，两个第三板体之间设有对射光电，第三板体上侧对应竖板的前后两端处设有调平的玻珠定位螺丝，第三板体底部设有第一、第二微动开关，第一微动开关反馈传动组件是否装载石英舟，第二微动开关判断竖板是否发生碰撞偏转，本机构通过设置调平装置以及各种传感器，可以充分反馈该传动机构当前的工作状态，保证运转安全。
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