谐振器、滤波器及封装结构
摘要:
一种谐振器、滤波器及封装结构,涉及谐振器技术领域。该谐振器包括衬底、位于衬底上的第一压电堆叠结构,以及相变材料层;第一压电堆叠结构包括依次层叠的第一底电极层、第一压电层和第一顶电极层;相变材料层位于第一压电堆叠结构远离衬底的一侧,或者,相变材料层位于第一压电堆叠结构靠近衬底的一侧。该谐振器能够改善由于温度变化引起的频率漂移现象,提高器件的稳定性。
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