本实用新型涉及一种晶圆校准装置。该晶圆校准装置包括：真空吸附载台与三轴向控制模块组同轴固定，且位于三轴向控制模块组的水平上方，线扫工业相机通过安装支架与三轴向控制模块组固定于台面上，数据处理模块的输入端与线扫工业相机的输出端连接，数据处理模块的输出端与三轴向控制模块组的输入端连接，三轴向控制模块组包括：X轴向控制模块、Y轴向控制模块和角度控制模块，用于依据位置调整参数通过X轴向控制模块、Y轴向控制模块和角度控制模块调节晶圆的位置至目标位置；其优点在于有效节省了空间，提高了检测效率和定位精度。