实用新型
CN2624354Y 液相原子力显微镜探头
失效 - 权利终止
- 专利标题: 液相原子力显微镜探头
- 专利标题(英): Liquid phase atomic force microscope probe
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申请号: CN03230892.2申请日: 2003-04-28
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公开(公告)号: CN2624354Y公开(公告)日: 2004-07-07
- 发明人: 张冬仙 , 章海军 , 张虎
- 申请人: 浙江大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区玉古路20号
- 专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人: 浙江大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区玉古路20号
- 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
- 代理商 张法高
- 主分类号: G12B21/08
- IPC分类号: G12B21/08
摘要:
本实用新型公开了一种液相原子力显微镜探头。于它依次具有激光器及位置敏感元件(PSD)组成的光电检测系统、XYZ压电陶瓷、气液隔离盘及微悬臂探针组成的扫描与反馈控制系统,以及由样品、样品座、液体池和升降台组成的可升降液相单元。本实用新型液相原子力显微镜探头结构简洁,技术条件易于实现,广泛适用于导体、半导体和绝缘体样品,既可以在空气中测量,又可以在液体甚至电化学环境下进行实时观察和测量,可望在众多科技与工业领域得到广泛应用。