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公开(公告)号：CN101630536B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200810012383.9
申请日：2008-07-18
申请人： 中国科学院沈阳自动化研究所
CPC分类号： G01Q70/12
摘要： 本发明涉及一种基于电磁场的碳纳米管AFM探针的制备方法，包括以下步骤：建立外加电场下溶液中碳纳米管的介电泳力理论模型；调节常规AFM探针和导电基底之间电压幅值或常规AFM探针和导电基底的间隙，控制常规AFM探针与导电基底间的场强；通过波形信号发生器在常规AFM探针和导电基底间施加交流电场；在光学显微镜监视下，滴加碳纳米管溶液到常规AFM探针和导电基底之间，直至浸没常规AFM探针针尖末端；静置5～50秒后，断开外加交流信号即完成。本发明方法易于控制，制造条件简单，成本低，并具有环保节能等特点。
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公开(公告)号：CN101224869B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200810032739.5
申请日：2008-01-17
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明涉及一种纳米技术领域的基于原子力显微探针为焊枪的纳米锡焊方法，具体为：选择原子力显微探针、焊锡材料和焊接模式；采用原子力显微镜找到要焊接纳米元件，即对拟焊接点准确定位；在探针上蘸取焊锡后，原子力成像扫描找到原位即第二步中选择的纳米器件，并记录高度图像，缩小扫描的范围锁定在纳米元件要焊接的部位，在原子力显微镜探针上施加偏压，使探针接触到纳米元件表面，保持扫描，实施焊接，焊接完成后，去除偏压返回正常的原子力显微镜成像状态，检测焊接结果，并记录焊接结果；重在纳米元件上实施多处纳米焊接，并记录焊接的结果。本发明是对纳米元件实施的一种定位准确的、焊点尺寸可控的、自动化程度高的、普适性强的纳米“锡焊”技术。
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公开(公告)号：CN101630536A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200810012383.9
申请日：2008-07-18
申请人： 中国科学院沈阳自动化研究所
CPC分类号： G01Q70/12
摘要： 本发明涉及一种基于电磁场的碳纳米管AFM探针的制备方法，包括以下步骤：建立外加电场下溶液中碳纳米管的介电泳力理论模型；调节常规AFM探针和导电基底之间电压幅值或常规AFM探针和导电基底的间隙，控制常规AFM探针与导电基底间的场强；通过波形信号发生器在常规AFM探针和导电基底间施加交流电场；在光学显微镜监视下，滴加碳纳米管溶液到常规AFM探针和导电基底之间，直至浸没常规AFM探针针尖末端；静置5～50秒后，断开外加交流信号即完成。本发明方法易于控制，制造条件简单，成本低，并具有环保节能等特点。
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公开(公告)号：CN100541708C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200610164888.8
申请日：2006-12-07
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 一种利用原子力显微镜的套刻对准方法及装置，其方法包括以下步骤：(1)在第一层图形写入的同时写入套刻对准标记；(2)在第二层图形刻写之前对其工作区域扫描成像，根据扫描成像的结果对第二层图形结构的坐标进行修正；(3)以修正后的图形坐标刻写第二层图形结构；(4)多层图形结构的坐标均依据原子力显微镜扫描结果进行修正，从而完成套刻加工。应用上述套刻对准方法的装置，包括以压电陶瓷闭环定位系统作为扫描器的原子力显微镜、光学观测镜、机械调节平台与电压开关电路[8]，电压开关电路[8]控制加工电压。本发明利用原子力显微镜自身的成像功能与压电陶瓷闭环定位系统[5]进行测量与定位，在不引进复杂的高精度光学对准设备的条件下可实现高精度的套刻加工。
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公开(公告)号：CN100538913C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN02829462.9
申请日：2002-08-14
申请人： 瑞士探测器股份公司
发明人： P·L·T·M·弗雷德里克斯 , H·J·于格
摘要： 一种光学传感器，特别是用于扫描力显微镜的光学传感器，利用在悬臂(3)与透镜组件(10)的输出表面(12b)之间的光学共振器测量悬臂(3)的偏转。为了形成共振器，输出表面(12b)是凹的并且平行于共振器内光的波前。这种设计提供一种高稳定性的共振器并且使得能够把透镜组件(10)和悬臂(3)之间的距离保持得比较大。
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公开(公告)号：CN101504948A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200810074356.4
申请日：2008-02-05
申请人： 财团法人工业技术研究院 , 力晶半导体股份有限公司 , 南亚科技股份有限公司 , 茂德科技股份有限公司 , 华邦电子股份有限公司
发明人： 陈维恕
IPC分类号： H01L27/24 , H01L45/00 , H01J31/12 , G03F7/20 , G11B5/48 , G11B9/00 , G01B7/28 , G12B21/08 , G02B6/02 , H01L33/00
摘要： 本发明公开了一种中空尖笔状结构及其制造方法，以及包含其的相变化存储装置、磁阻式动态随机存取存储装置、电阻式动态随机存取存储装置、场发射显示装置、多电子束直写光刻装置、高密度磁储存装置、原子力显微装置、光刻装置、光子晶体结构及其制造方法。该中空尖笔状结构包括：中空柱状间隔物，位于一基础层上；以及中空锥状间隔物，堆叠于该中空柱状间隔物上，其中该中空锥状间隔物、该中空柱状间隔物与该基础层间形成一空室，而该中空柱状间隔物与该中空锥状间隔物的壁面包括含硅的有机或无机材料。
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公开(公告)号：CN101010751A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200580029863.0
申请日：2005-07-07
申请人： 里兰斯坦福初级大学理事会
摘要： 一种用于原子力显微分析法中的悬臂，包括：伸出臂，该伸出臂具有连接到基部部件的固定端和自由端，其中伸出臂具有第一形状和与第一形状相关的扭转轴；和从伸出臂接近自由端处突出的探针尖端，其中探针尖端位于从扭转轴偏移的位置。可选地，伸出臂具有第一形状，选择第一形状以调节选定扭转模式的扭转共振频率或基本模式的基本弯曲共振频率，使得扭转共振频率和基本弯曲共振频率具有整数比例。在这种方式下，扭转谐波悬臂在谐波频率下的扭转运动将被相应的扭转共振大大增强。
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公开(公告)号：CN1978073A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：CN200510126221.4
申请日：2005-11-30
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 一种原子力显微镜针尖清洗方法。其特征在于将探针下半部无针尖一端的背面涂敷少量指甲油，固定于清洗装置内。将放有探针的清洗装置于盛有清洗液的器皿中，将器皿放置于超声波洗涤槽中，低频超声10分钟。应用本发明方法的清洗装置，包括环状底座[1]和环状盖片[4]两部分，底座[1]上开有多个凹槽[2]，凹槽[2]比探针基底稍宽，底座[1]和盖片[4]通过螺丝[3和5]固定。本发明所需设备简单，操作方便，并且能够有效的去除附着在探针针尖上的脏物，使污染后的针尖能够被再次利用。
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公开(公告)号：CN1913043A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200510086211.2
申请日：2005-08-08
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 一种原子力显微镜的扫描探头，包括激光器1，反射镜2，反射镜3，四象限光电位置检测器4，微悬臂5，放大镜组件和CCD10，放大镜组件包括放大镜片和调焦镜筒8；放大镜片包括物镜7和目镜9，放大镜组件安装在带有针尖的微悬臂5正上方，调焦镜筒8固定在扫描探头壳体11的顶部，可调节伸缩，调焦镜筒8的下部和上部通过螺纹口分别连接物镜7和目镜9；目镜9上有C型接口与CCD10相连，CCD10的输出端从扫描探头外部接到电视机盒上，电视机盒再接到电脑上。在电脑监视器上开设观察窗口显示放大了的微悬臂及激光光点。本发明克服了完全依靠肉眼观察微小的激光光点和微悬臂的困难，和外置的体视放大镜相比，可避免移动镜头寻找微小目标的麻烦。
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