发明授权
- 专利标题: Semiconductor absolute pressure transducer assembly
- 专利标题(中): 半导体绝对压力传感器总成
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申请号: EP79103666.8申请日: 1979-09-27
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公开(公告)号: EP0010204B1公开(公告)日: 1983-07-13
- 发明人: Yamada, Kazuji , Suzuki, Seiko , Nishihara, Motohisa , Kawakami, Kanji , Sato, Hideo , Kobori, Shigeyuki , Kanzawa, Ryosaku , Takahashi, Minoru , Minorikawa, Hitoshi
- 申请人: Hitachi, Ltd.
- 申请人地址: 5-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 JP
- 专利权人: Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人: Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址: 5-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 JP
- 代理机构: Beetz & Partner Patentanwälte
- 优先权: JP119016/78 19780927
- 主分类号: G01L9/06
- IPC分类号: G01L9/06 ; H01L29/84
公开/授权文献
- EP0010204B2 Semiconductor absolute pressure transducer assembly 公开/授权日:1986-07-16
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