发明授权
- 专利标题： A method and apparatus for ion beam generation
- 专利标题（中）： 用于离子束生成的方法和装置
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申请号： EP84304963.6申请日： 1984-07-20
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公开(公告)号： EP0132398B1公开(公告)日： 1989-10-04
- 发明人: Naoe, Masahiko , Ishibashi, Shouzo
- 申请人： KONICA CORPORATION
- 申请人地址： 26-2, Nishi-shinjuku 1-chome Shinjuku-ku Tokyo 163 JP
- 专利权人： KONICA CORPORATION
- 当前专利权人： KONICA CORPORATION
- 当前专利权人地址： 26-2, Nishi-shinjuku 1-chome Shinjuku-ku Tokyo 163 JP
- 代理机构： Ellis-Jones, Patrick George Armine
- 优先权： JP133030/83 19830720; JP133031/83 19830720; JP133032/83 19830720; JP133033/83 19830720
- 主分类号： H01J27/02
- IPC分类号： H01J27/02 ; C23C14/48 ; G11B5/84
公开/授权文献
- EP0132398A1 A method and apparatus for ion beam generation 公开/授权日：1985-01-30
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