公开(公告)号：EP4423787A1

公开(公告)日：2024-09-04

申请号：EP22887906.0

申请日：2022-09-27

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： LIKHANSKII, Alexandre ,  SCHEUER, Jay T. ,  MAHALINGAM, Sudhakar ,  CLAY, Nevin

IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/08320130101 ,  H01J2237/06120130101 ,  H01J27/024

公开(公告)号：EP4377989A1

公开(公告)日：2024-06-05

申请号：EP22850069.0

申请日：2022-07-07

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： PEREL, Alexander, S. ,  JOHNSON, Jay, S. ,  MADUNTS, Suren ,  MCLAUGHLIN, Adam, M. ,  WRIGHT, Graham

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/02 ,  H01J37/16 ,  H01J37/317

CPC分类号： H01J1/02 ,  H01J3/14

公开(公告)号：EP4341978A1

公开(公告)日：2024-03-27

申请号：EP22888094.4

申请日：2022-10-26

申请人： KLA Corporation

发明人： FLORENDO, Oscar ,  NGUYEN, Vincent

IPC分类号： H01J27/02 ,  H01F27/10 ,  H01J37/08

公开(公告)号：EP3737214B1

公开(公告)日：2022-08-10

申请号：EP20171046.4

申请日：2020-04-23

发明人： Philipp, Dr. rer. nat. Alexandra

IPC分类号： H05H7/08 ,  H01J27/02 ,  H01J27/16 ,  H01J27/18

公开(公告)号：EP3791696A1

公开(公告)日：2021-03-17

申请号：EP19725057.4

申请日：2019-05-10

申请人： University Of Southampton

发明人： DAYKIN-ILIOPOULOS, Alexander Joey Nikolaos ,  GABRIEL, Stephen Bernard ,  GOLOSNOY, Igor

IPC分类号： H05H1/46 ,  H01J27/02 ,  H05H1/54 ,  H01J1/30

公开(公告)号：EP3683820A1

公开(公告)日：2020-07-22

申请号：EP19152528.6

申请日：2019-01-18

申请人： Justus-Liebig-Universität Gießen

发明人： Klar, Peter ,  Chatterjee, Sangam ,  Holste, Kristof ,  Becker, Martin

IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J37/317 ,  H01J37/305 ,  H01J37/08 ,  F03H1/00

摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung 10 zur Erzeugung von lonenstrahlen mit anpassbaren lonenstrahlprofilen, welche wenigstens ein Plasmagefäß 20, eine Ionenoptik 25 und eine Gittersteuerung 28 umfasst. Dabei umfasst die Ionenoptik 25 wenigstens zwei voneinander elektrisch getrennte Extraktionsgitter (251) und (252), die wiederum jeweils aus mehreren elektrisch in Kontakt stehenden Teilgittern bestehen können. Dabei ist die Gittersteuerung 28 so ausgebildet, dass sie die Positionen der Extraktionsgitter (251, 252) sowie die der Teilgitter zueinander verändert und dadurch das lonenstrahlprofil gezielt anpasst.

公开(公告)号：EP3427285B1

公开(公告)日：2020-01-22

申请号：EP17713353.5

申请日：2017-03-08

申请人： Pantechnik ,  A.D.A.M. SA

发明人： SALOU, Pierre ,  FINK, Daniel

IPC分类号： H01J27/02 ,  H01J37/05 ,  G21K1/02 ,  H05H7/04 ,  H05H7/08

公开(公告)号：EP3266034B1

公开(公告)日：2019-12-18

申请号：EP16711110.3

申请日：2016-02-25

申请人： Plansee SE

发明人： WERNINGHAUS, Thomas ,  MAYR-SCHMÖLZER, Bernhard ,  KATHREIN, Martin

IPC分类号： H01J37/08 ,  H01J37/317 ,  H01J27/02

公开(公告)号：EP2625305B1

公开(公告)日：2019-05-29

申请号：EP11831447.5

申请日：2011-10-04

申请人： Veeco Instruments Inc.

发明人： KAMEYAMA, Ikuya

IPC分类号： C23C14/46 ,  C23C14/34 ,  H01J27/02 ,  H01J37/08

公开(公告)号：EP3096867A4

公开(公告)日：2017-10-18

申请号：EP15737044

申请日：2015-01-15

申请人： ZEROK NANO TECH CORP

发明人： KNUFFMAN BRENTON J ,  STEELE ADAM V

IPC分类号： H01J27/24 ,  G01N27/64 ,  H01J27/02 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J27/24 ,  G01N27/64 ,  H01J27/022 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/0815 ,  H01J2237/31701 ,  H01J2237/31749

摘要： A system and method for using a high-performance photoionization subsystem are disclosed. Embodiments of the present disclosure employ narrow bandwidth laser radiation to selectively excite ionizing resonant states of gaseous atoms in electric fields. This subsystem and method may be incorporated in an ion source producing ions by photoionizing gaseous atoms; the resultant ions may be employed to efficiently produce an ion beam of high brightness.