发明授权
- 专利标题: Method of making a chip cooling device
- 专利标题(中): 制造芯片冷却装置的方法
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申请号: EP84111046.3申请日: 1984-09-17
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公开(公告)号: EP0140119B1公开(公告)日: 1987-12-02
- 发明人: Kok, Paul
- 申请人: International Business Machines Corporation
- 申请人地址: Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人: International Business Machines Corporation
- 当前专利权人: International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址: Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构: Gaugel, Heinz
- 优先权: US544907 19831024
- 主分类号: H01L23/42
- IPC分类号: H01L23/42 ; H01L21/48
公开/授权文献
- EP0140119A2 Method of making a chip cooling device 公开/授权日:1985-05-08
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