发明公开
EP0144524A3 Getter pump for high-vacuum and gas discharge plants 失效
用于高真空和气体放电植物的水泵

Getter pump for high-vacuum and gas discharge plants
摘要:
Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Pumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit in einem Pumpgefäß (3) angeordneten Getterkörpern (1) aus nichtver dampfendem Gettermaterial und zugehörigen Heizelmenten (2). Mit dieser Getter- Pumpe soll die Herstellung eines Hochvakuums im Druckbereich ab 10⁻³ mbar und besser durch nichtverdampfende Getter ermöglicht werden. Erfin dungsgemäß ist hierzu vorgesehen, daß die Heizelemente (2) parallel geschaltet sind oder mehrere Heizelemente (2) gruppenweise in Reihe geschaltet und die Gruppen entwe der parallel geschaltet oder einzeln herausgeführt sind.
Die erfindungsgemäße Getter-Pumpe ist in Hochvaku um- und Gasentladungsanlagen verwendbar.
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