发明公开
- 专利标题: Getter pump for high-vacuum and gas discharge plants
- 专利标题(中): 用于高真空和气体放电植物的水泵
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申请号: EP84109514申请日: 1984-08-09
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公开(公告)号: EP0144524A3公开(公告)日: 1986-10-08
- 发明人: Heynisch, Hinrich, Dr. rer. nat. Dipl.-Phys. , Hübner, Erwin, Dr. rer. nat. , Mägdefessel, Heinz, Ing. grad.
- 申请人: Siemens Aktiengesellschaft
- 专利权人: Siemens Aktiengesellschaft
- 当前专利权人: Siemens Aktiengesellschaft
- 优先权: DE3332608 19830909
- 主分类号: F04B37/02
- IPC分类号: F04B37/02
摘要:
Die Erfindung bezieht sich auf eine Getter-Pumpe für Hochvakuum- und Gasentladungsanlagen mit in einem Pumpgefäß (3) angeordneten Getterkörpern (1) aus nichtver dampfendem Gettermaterial und zugehörigen Heizelmenten (2). Mit dieser Getter- Pumpe soll die Herstellung eines Hochvakuums im Druckbereich ab 10⁻³ mbar und besser durch nichtverdampfende Getter ermöglicht werden. Erfin dungsgemäß ist hierzu vorgesehen, daß die Heizelemente (2) parallel geschaltet sind oder mehrere Heizelemente (2) gruppenweise in Reihe geschaltet und die Gruppen entwe der parallel geschaltet oder einzeln herausgeführt sind.
Die erfindungsgemäße Getter-Pumpe ist in Hochvaku um- und Gasentladungsanlagen verwendbar.
Die erfindungsgemäße Getter-Pumpe ist in Hochvaku um- und Gasentladungsanlagen verwendbar.
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