发明授权
- 专利标题: System and method for depositing an electrical insulator in a continuous process
- 专利标题(中): 在连续过程中沉积电绝缘体的系统和方法
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申请号: EP86110049.3申请日: 1986-07-22
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公开(公告)号: EP0210578B1公开(公告)日: 1992-05-20
- 发明人: Cannella, Vincent D.
- 申请人: ENERGY CONVERSION DEVICES, INC.
- 申请人地址: 1675 West Maple Road Troy Michigan 48084 US
- 专利权人: ENERGY CONVERSION DEVICES, INC.
- 当前专利权人: ENERGY CONVERSION DEVICES, INC.
- 当前专利权人地址: 1675 West Maple Road Troy Michigan 48084 US
- 代理机构: Müller, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing.
- 优先权: US760305 19850729
- 主分类号: C23C16/54
- IPC分类号: C23C16/54
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