发明公开
- 专利标题: Integration process of resistances in chemically disposed conductor networks
- 专利标题(中): 化学传感器网络中电阻的积分过程
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申请号: EP86112010申请日: 1986-08-29
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公开(公告)号: EP0214573A3公开(公告)日: 1988-07-13
- 发明人: Bock, Martin, Dr. , Tenbrink, Detlef
- 申请人: SCHERING AKTIENGESELLSCHAFT Berlin und Bergkamen
- 专利权人: SCHERING AKTIENGESELLSCHAFT Berlin und Bergkamen
- 当前专利权人: SCHERING AKTIENGESELLSCHAFT Berlin und Bergkamen
- 优先权: DE3532834 19850912
- 主分类号: H01C17/06
- IPC分类号: H01C17/06 ; H05K01/16 ; H01L21/70
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Integration hoch zuverlässiger und kleiner Dickschichtwiderstände in Leiter netzwerke, die mit chemischen oder elektrochemischen Ver fahren hergestellt werden, dadurch gekennzeichnet, daß auf einen Schaltungsträger mit einem Leiternetzwerk nach dem Siebdruckverfahren Widerstandspasten gedruckt und einge brannt beziehungsweise gehärtet werden oder daß ein Schal tungsträger nach einer haftungsverbessernden Vor behandlung zunächst mit dem Widerstandsmuster und zugehörigen Kontaktflecken bedruckt wird und daß nach dem Einbrand beziehungsweise Aushärten der Pasten ein vol ladditiver Leiterbahnaufbau durch selektive chemische Met allabscheidung erfolgt.
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