发明授权
- 专利标题: Projection optical system for use in precise copy
- 专利标题(中): 投影光学系统用于精密复印
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申请号: EP87103472.4申请日: 1987-03-11
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公开(公告)号: EP0237041B1公开(公告)日: 1993-08-18
- 发明人: Satoh, Takeo , Araki, Nobuhiro , Kawata, Koichi , Nomura, Noboru , Ueno, Atushi , Yoshida, Shotaro
- 申请人: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
- 申请人地址: 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka-fu, 571 JP
- 专利权人: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
- 当前专利权人: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
- 当前专利权人地址: 1006, Oaza Kadoma Kadoma-shi, Osaka-fu, 571 JP
- 代理机构: Patentanwälte Leinweber & Zimmermann
- 优先权: JP54051/86 19860312; JP159055/86 19860707
- 主分类号: G02B17/08
- IPC分类号: G02B17/08
公开/授权文献
- EP0237041A3 Projection optical system for use in precise copy 公开/授权日:1989-05-03
信息查询
IPC分类:
G | 物理 |
G02 | 光学 |
G02B | 光学元件、系统或仪器 |
G02B17/00 | 有或无折射元件的具有反射面的系统 |
G02B17/08 | .折反射系统 |