发明授权
- 专利标题： A method for designation/sorting semiconductors wafers according to predicted oxygen precipitation behaviour
- 专利标题（中）： 根据预测的氧气降解行为指定/分配半导体波长的方法
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申请号： EP87101864.4申请日： 1987-02-11
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公开(公告)号： EP0240668B1公开(公告)日： 1992-07-29
- 发明人: Miller, Donald A.
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Klein, Daniel Jacques Henri
- 优先权： US849996 19860410
- 主分类号： G01N21/88
- IPC分类号： G01N21/88 ; G01N27/42 ; H01L21/66 ; G01N21/35 ; G01R31/26
公开/授权文献
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